Occasion NOVELLUS Vector #9195888 à vendre en France

NOVELLUS Vector est un graveur/asher de haute précision, spécialement conçu pour le traitement au niveau des plaquettes de matériaux semi-conducteurs. C'est un équipement très avancé qui peut être utilisé pour les processus de gravure plasma et thermique. Vector est capable de produire de très petits motifs de forme précise sur des films minces mais offre également une évolutivité et un débit flexibles. Il offre une plate-forme flexible pour les processus de gravure et de cueillette du plasma. La technologie avancée de matériel, de logiciels et d'optique de NOVELLUS Vector permet de réaliser des cendres, des gravures et des nettoyages à haute performance. Son module de cendrage en couche mince (TFAM) est une chambre à vide conçue pour des applications spécifiques qui nécessitent des caractéristiques spéciales telles que la haute résolution, la faible énergie et le cendrage à basse température. La chambre Mainframe de Vector offre un processus de gravure thermique robuste et durable avec une flexibilité maximale. Le système d'alignement des masques à haute résolution de NOVELLUS Vector permet un placement précis des produits et des masques dans la chambre. Vector fournit également une automatisation avancée des processus de gravure et asher. Il offre une répétabilité intégrée avec la détection automatique des conditions de la chambre, des caractéristiques du produit et des paramètres du processus. Le logiciel NOVELLUS Vector comprend une interface graphique puissante (interface graphique) qui fournit une plate-forme facile à utiliser pour le fonctionnement à distance, l'acquisition de données et le diagnostic. L'unité de chargement multi-cassettes de Vector augmente les capacités de débit et réduit les coûts d'exploitation. Sa machine de gestion du vide (VMS) aide au contrôle des niveaux de particules et fournit des performances plus élevées pour les processus de gravure/ashing. En outre, NOVELLUS Vector dispose d'un outil intuitif et convivial et de verrouillage de charge amélioré pour réduire les dommages aux plaquettes. Les options de gravure plasma et asher de Vector offrent des performances toujours élevées avec des temps de cycle bas. En outre, NOVELLUS Vector assure une atmosphère de traitement respectueuse de l'environnement avec sa source d'énergie faible. Dans l'ensemble, Vector est une gravure/asher très polyvalente avec des capacités de haute précision, une excellente évolutivité et un débit élevé pour des processus de niveau de plaquette exigeants.