Occasion NOVELLUS Vector #9262780 à vendre en France

NOVELLUS Vector est un graveur/asher conçu pour permettre la production de dispositifs semi-conducteurs avec une excellente taille, profondeur et uniformité. Elle est particulièrement bien adaptée à la réalisation de produits de pas ultra fins tels que les interconnexions arrière DRAM, les réseaux Contact/via, les substrats PWB et flip-chip. Vector est un équipement à haut débit avec des capacités précises de placement de masque. Il est construit autour d'une table de numérisation haute performance et d'une source avancée de gravure ICP. Cette configuration permet d'ajuster avec précision le processus de gravure, conduisant à des résultats exceptionnellement de haute qualité. Un éventail d'outils avancés d'imagerie et de métrologie sont également inclus, permettant un contrôle non destructif des processus. L'enveloppe de travail étendue de NOVELLUS Vector garantit que les caractéristiques de toutes tailles et géométries peuvent être gravées avec une grande précision. Vector utilise un revêtement souple d'oxyde PECVD/OCD avant gravure. Ce revêtement offre un contrôle des défauts supérieur, permettant de maximiser les rendements du procédé tout en assurant une excellente conformité sur les substrats même les plus difficiles. NOVELLUS Vector est également très efficace pour la gravure à double couche et les vias aveugles. Le sysem est capable de graver des trous traversants, des contacts et d'autres types de caractéristiques avec une uniformité de profondeur exceptionnelle et une résolution de ligne fine. Le contrôle avancé du processus de Vector garantit une excellente répétabilité et une faible défectivité. Les capacités avancées de surveillance et de contrôle des processus du système réduisent considérablement les temps de cycle et assurent que le processus de gravure est tenu à des spécifications précises. Il en résulte une amélioration des rendements et une réduction des taux de rebut. L'unité est également livrée avec des capacités avancées de surveillance et de contrôle des défauts, lui donnant une capacité supérieure de détection des défauts par rapport aux graveurs traditionnels. Au total, NOVELLUS Vector est un graveur/asher exceptionnel avec des capacités de contrôle de processus supérieures. La machine aide à réduire considérablement les temps de cycle et peut facilement graver les produits de tangage ultra-fin avec des estimations de profondeur cohérentes et une rugosité minimale des bords. Ses outils avancés d'imagerie et de métrologie lui permettent de produire des produits de la plus haute qualité avec des débris très minimes.