Occasion NOVELLUS Vector #9379236 à vendre en France

NOVELLUS Vector est un graveur/asher très précis développé par NOVELLUS Systems pour la gravure et l'ashing d'une grande variété de matériaux. Vecteur est capable de gravure de précision fine et ashing à des niveaux de sous-microns (sous 5nm). Il utilise la technologie de faisceau d'électrons à balayage breveté NOVELLUS (SEB) pour fournir un faisceau d'électrons extrêmement précisément focalisé qui est nécessaire pour la gravure et le cendrage de haute qualité, en ligne fine, qui sont essentiels dans la production de puces complexes à pas fin. NOVELLUS Vector dispose également d'un verrou de charge monobloc, d'un dissipateur thermique interne et d'un mandrin thermique externe pour un contrôle thermique précis. La plaquette est chargée dans la chambre de serrure de Vector, et le faisceau est focalisé sur sa surface. Avec son motif de balayage très précis et ses impulsions ultra-rapides, NOVELLUS Vector est capable de graver et d'aspirer plus rapidement que la plupart des solutions compétitives, tout en obtenant toujours la plus haute résolution et qualité. De plus, le SEB de Vector permet à l'utilisateur d'appliquer des matériaux de gravure sur la plaquette avec une grande précision et uniformité. NOVELLUS Vector fonctionne également de manière transparente avec d'autres systèmes NOVELLUS, permettant un haut degré d'automatisation et d'intégration des processus. En plus de Vector, la société propose également les solutions Ares Fast Copper Damascene, le système de gravure diélectrique Evolution et le système de gravure/cueillette Production Eversharp. Ces options offrent une gamme de techniques de gravure/ashing pour différents types de matériaux.