Occasion OXFORD 80 PECVD #9131938 à vendre en France

OXFORD 80 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) est un équipement avancé de gravure à sec/asher capable de traiter un large éventail de matériaux d'une manière précise et rentable. Le procédé PECVD utilise un mélange gazeux de produits chimiques oxydants et réducteurs, qui sont mélangés et ionisés dans une chambre à plasma pour créer un environnement très réactif. Il en résulte le dépôt de couches de couches minces tout en gravant ou en aspergeant simultanément du matériau non désiré, ce qui permet un contrôle et une manipulation précis des caractéristiques du matériau. Le modèle OXFORD 80 + PECVD est conçu pour la flexibilité et la performance des processus. Il comprend une chambre de traitement à 6 zones avec un système interne de régulation de la température de 15 ° C à 250 ° C Une unité avancée de contrôle des processus permet d'ajuster et de reproduire avec précision les paramètres des processus. La machine utilise également un ajout optionnel de canal rf-only, qui fournit des ions supplémentaires pour optimiser le processus de gravure et d'ashing sans risque de dommages plasmatiques. 80 PECVD peut graver des matériaux tels que l'aluminium, le cuivre, l'or et le platine. Il peut également aspirer des matériaux tels que polyimide, photorésist, diélectriques bas k, et structures GaAs. Le procédé est capable de rectifier des étapes de dépôt fin à haut débit dans une seule chambre, ce qui permet d'augmenter l'efficacité du procédé. En outre, 80 + PECVD offre une excellente répétabilité des processus, permettant des rendements maximums et une fiabilité. OXFORD 80 PECVD est un outil idéal pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et les applications de microfabrication. Il est largement utilisé dans des industries telles que l'automobile, l'aérospatiale, l'électronique grand public, et plus encore. Le graveur/asher offre des qualités de gravure et de cendres supérieures, permettant l'installation de composants complexes et délicats de circuits intégrés qui nécessitent des performances précises et un fonctionnement fiable. Dans l'ensemble, OXFORD 80 + PECVD est une gravure/asher efficace et rentable pour une gamme complète de matériaux. Il offre une grande flexibilité, contrôle de processus, et la fiabilité, ce qui le rend idéal pour une large gamme de processus de microfabrication.