Occasion OXFORD 80 #9153430 à vendre en France
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ID: 9153430
Reactive ion etcher
Open design
ACG 5xl RF Generator
Pressure controller: MKS 600 Series
2-Stage vacuum pump
Inbuilt control system
R3 Plasma cleaner
Lark sequencer
500 Generator
(2) Gas inputs
(2) Shelves: 12.75 x 12.75"
(4) MFC Gas control systems
Voltage: 208V
Available: Turbo pump, MFC controls.
OXFORD 80 est une machine de gravure et de cendrage avancée conçue pour être utilisée en laboratoire. Il est capable de diverses applications de gravure et de cendrage, y compris des portes, des structures d'endommagement, des trous de contact, des surfaces dopantes et des couches d'oxyde. La machine est polyvalente, ce qui la rend adaptée à une large gamme de substrats et de matériaux. 80 etcher/asher est entièrement automatique, fournissant des résultats cohérents quel que soit le niveau de compétence de l'utilisateur. Il peut spécifier le type de tâche de gravure/ashing, la direction de gravure, et le nombre de fois que la tâche doit être répétée. L'interface utilisateur de la machine est très intuitive, permettant un contrôle précis des paramètres de gravure et d'ashing. OXFORD 80 etcher/asher est capable d'exécuter des procédures de gravure et d'ashing sur des couches de plaquettes de silicium ou d'autres matériaux microstructurés. Il peut traiter à la fois une ou plusieurs couches, et supporte des fonctionnalités telles que la polarisation basse tension et l'alignement multi-masques. De plus, il utilise des sources de gaz sans particules pour minimiser la contamination ou les dommages au substrat. 80 etcher/asher est très fiable et offre une reproductibilité supérieure avec un débit élevé. Il est équipé d'un design de buse unique et intègre des fonctions de réduction du bruit pour minimiser la pollution sonore dans les environnements de laboratoire. La maintenance de la machine est simplifiée avec des indicateurs visuels qui alertent les techniciens sur les problèmes potentiels, ainsi que des diagnostics embarqués à des fins de dépannage. Pour assurer la cohérence avec les différents substrats avec lesquels il peut travailler, il contient également un système de surveillance de la température pour s'assurer que les températures de chaque type de substrat sont régulées selon la spécification souhaitée. OXFORD 80 etcher/asher est capable de graver et d'aspirer avec une variété de gaz, ainsi que des flux de gaz contrôlables et des niveaux de puissance RF. Il supporte également plusieurs plaquettes à différentes températures, ce qui en fait un outil approprié pour tester de nouveaux matériaux ou dispositifs. Dans l'ensemble, 80 graveurs/asher est une machine efficace et fiable pour les tâches de gravure et ashing. Il convient à une large gamme de substrats et de matériaux, et est capable d'un traitement précis à haut débit. Il offre une reproductibilité supérieure et une interface utilisateur intuitive qui en fait un excellent choix pour n'importe quel laboratoire.
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