Occasion OXFORD 90 Plus #9060476 à vendre en France

Fabricant
OXFORD
Modèle
90 Plus
ID: 9060476
Taille de la plaquette: 2"-8"
Style Vintage: 1997
RIE System, 2"-8" Load lock and main process chamber (6) MFC (BCl3, Cl2, CH4, H2, Ar, O2) PFEIFFER Turbo TPH330PC (on main chamber) PFEIFFER Turbo TMH 260C (on load lock) LEYBOLD Mechanical pumps PC & Monitor 1997 vintage.
OXFORD 90 Plus est un graveur/asher avancé conçu pour les applications de nanostructuration et de gravure en écriture directe. Il est conçu pour obtenir des niveaux de précision et de précision extrêmement élevés pour la gravure ultra fine des substrats métalliques et non métalliques. Il est équipé de plusieurs caractéristiques uniques qui le rendent hautement adapté à des applications telles que la fabrication MEMS, la microfluidique, et les PCB de haute performance. 90 Plus emploie un générateur d'impulsions et une unité de commande numérique de puissance de pointe pour assurer une gravure très précise et précise. Il est conçu pour fonctionner avec deux modes communs : LID (Laser Induced Direct Graching), et OHE (Optically Assisted Graching), qui peut être utilisé pour graver des métaux ainsi que des matériaux non métalliques comme des polymères, des semi-conducteurs et des diélectriques. Le mode OHE offre des niveaux de précision et de répétabilité considérablement plus élevés que les techniques de gravure classiques. Le cœur d'OXFORD 90 Plus est son système de gravure laser en écriture directe, qui utilise des lasers UV pour graver des motifs directement sur le substrat. Le point focal du laser est très petit et le système offre une précision de 1 à 3 nanomètres. Ce niveau de précision est idéal pour créer des structures nanométriques sur les métaux et certains matériaux non métalliques. 90 Plus est également équipé de plusieurs autres fonctionnalités qui augmentent sa flexibilité et sa convivialité. Il offre une conception modulaire, une capacité de balayage 4 axes et un système intégré de manutention des plaquettes pour augmenter le débit. Il dispose également d'un contrôle informatique complet, permettant aux utilisateurs de créer rapidement et facilement des modèles de gravure personnalisés et de gérer les paramètres de processus à distance. OXFORD 90 Plus a été largement testé et validé dans diverses applications de gravure, ce qui en fait un choix fiable et polyvalent pour diverses tâches de micro-fabrication. Ses capacités de gravure et de manutention des plaquettes très précises en font un choix idéal pour les microfluidiques, les MEMS et les PCB haute performance. Ses capacités de conception modulaire et de contrôle informatique le rendent adapté aux processus de production à haut débit, et sa gravure de précision axée sur le laser le rend idéal pour les applications de gravure à l'échelle nanométrique.
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