Occasion OXFORD / LANCER 1000 #126491 à vendre en France

OXFORD/LANCER 1000 est une machine de graveur/asher avancée conçue pour la gravure et le cendrage plasma précis. Il utilise une technologie de contrôle de processus unique pour obtenir une uniformité de gravure supérieure sur de grandes surfaces et à des temps de cycle rapides, ainsi que la gravure de précision et l'ashing dans de plus petites zones. La combinaison de ces caractéristiques fait d'OXFORD 1000 un outil idéal pour la production de photomasques, le micromachining et d'autres procédés de précision. LANCER 1000 possède un bras triple axe pour un déplacement précis de la source de plasma. Il comprend un équipement efficace d'alimentation en gaz pour minimiser les temps d'arrêt du système, un détecteur d'imagerie haute résolution pour assurer une distribution exacte du plasma sur tout le substrat, et une surface maximale de travail de 1000 x 1000mm. Sa puissante unité de commande permet un contrôle indépendant de la puissance et de la pression pour les processus de gravure et de cueillette, et assure un contrôle précis du processus. OXFORD/LANCER 1000 est conçu pour assurer un contrôle rigoureux des processus et une uniformité des rendements pour une grande variété de matériaux, y compris, mais pas seulement, les plaquettes de silicium et les dispositifs MEMS. Il a un débit de processus élevé qui le rend adapté aux environnements de production, et un faible coût total de propriété du fait de son fonctionnement efficace. La machine est également conçue pour la compatibilité avec une variété de sources de plasma dans la chambre, lui permettant de soutenir une gamme de recherche et d'applications industrielles. Le logiciel robuste inclus avec OXFORD 1000 fournit un langage de programmation graphique facile à utiliser pour la programmation facile et précise du processus de gravure et d'ashing. Il comprend des fonctions de sécurité intégrées telles que la surveillance en temps réel de la pression, de la température et de la consommation d'énergie. En outre, des kits d'extension logicielle sont disponibles pour étendre l'outil à des séquences de processus personnalisées ou d'autres exigences avancées. Dans l'ensemble, LANCER 1000 est conçu pour une large gamme d'applications de gravure et de cueillette et est capable d'effectuer une gravure et une cueillette précises à un taux de productivité élevé. Il est adapté à une variété de matériaux de substrat, et son logiciel facile à programmer en fait un choix idéal pour les scientifiques, les ingénieurs et les techniciens travaillant sur des applications expérimentales ou de production.