Occasion OXFORD NGP-1000 #293751615 à vendre en France

OXFORD NGP-1000 est un équipement de pointe conçu pour le traitement des semi-conducteurs. Cet outil allie technologie de pointe avec contrôle de précision pour fournir d'excellentes performances de processus et répétabilité. OXFORD NGP1000 est un outil polyvalent qui peut accueillir un large éventail de tailles et de matériaux de plaquettes, ce qui le rend adapté à divers environnements de recherche et de production. Au cœur de NGP-1000 se trouve sa chambre de procédé innovante, qui dispose d'une source de plasma de haute puissance capable de générer diverses espèces réactives nécessaires aux processus de gravure et de cueillette. La source de plasma est typiquement créée à partir d'une combinaison de gaz tels que l'oxygène, le fluor et l'argon, qui sont introduits dans la chambre à des débits contrôlés. Ces gaz sont ensuite alimentés à l'aide de la puissance radiofréquence (RF) pour créer un plasma haute densité capable de graver et d'aspirer des matériaux semi-conducteurs avec une grande précision. NGP1000 dispose également de capacités avancées de contrôle de processus, avec des fonctionnalités telles que la détection d'endpoint, le contrôle de pression, et le contrôle de la température. La détection d'endpoint est une caractéristique cruciale qui permet au système de déterminer avec précision quand le processus de gravure ou d'ashing est terminé, assurant une surgravure minimale et préservant l'intégrité du dispositif semi-conducteur. Les mécanismes de contrôle de pression aident à maintenir les conditions de pression optimales à l'intérieur de la chambre de procédé, tandis que le contrôle de température assure que la température de la plaquette reste dans une plage spécifiée pour éviter les dommages thermiques. L'un des principaux avantages d'OXFORD NGP-1000 est son haut débit, permettant aux utilisateurs de traiter plusieurs plaquettes en une seule fois. Cela est obtenu grâce à des systèmes avancés de manutention des plaquettes qui assurent un chargement et un déchargement efficaces des plaquettes, minimisant les temps d'arrêt des processus et maximisant la productivité. En outre, OXFORD NGP1000 est équipé d'interfaces utilisateur intuitives et de contrôles logiciels qui facilitent la mise en place et le suivi des recettes de traitement, ce qui le rend idéal pour les chercheurs expérimentés et les nouveaux utilisateurs. NGP-1000 est également conçu avec souplesse dans l'esprit, offrant une gamme d'options de personnalisation de processus pour répondre à différentes exigences de gravure et d'ashing. Les utilisateurs peuvent ajuster divers paramètres de processus tels que les débits de gaz, les niveaux de puissance RF et la pression de processus pour obtenir un contrôle précis sur les processus de gravure et de cueillette. De plus, l'unité peut être équipée de différents systèmes d'entrée de gaz et supports de substrat pour supporter une grande variété de matériaux et de substrats. En termes de sécurité et de fiabilité, NGP1000 intègre des dispositifs de sécurité robustes et des systèmes de surveillance pour assurer un fonctionnement sûr en tout temps. La machine dispose également d'outils de diagnostic intégrés et de capacités de surveillance à distance, permettant un entretien proactif et un dépannage afin de minimiser les temps d'arrêt et de maximiser le temps de disponibilité de l'outil. Dans l'ensemble, OXFORD NGP-1000 est un actif de graveur/asher très avancé qui offre des performances, une flexibilité et une fiabilité inégalées pour les applications avancées de traitement des semi-conducteurs.