Occasion OXFORD Plasmalab 100-ICP 180 #293807546 à vendre en France

OXFORD Plasmalab 100-ICP 180 est un graveur/asher très avancé fabriqué par OXFORD Instruments. Il est conçu pour les transistors à haute mobilité électronique (HEMT) à grande surface et gravure profonde, les puces microélectroniques avancées et l'intégration des équipements au niveau des plaquettes. Ce système offre un contrôle complet des paramètres de gravure et d'ashing tels que le temps et la taille de gravure, la direction, la puissance, la pression et la pureté des gaz avec une unité de manutention de plaquettes à entraînement direct assurant des résultats de la plus grande précision et efficacité. OXFORD PLASMALAB 100/ICP 180 est équipé d'une source de plasma à couplage inductif (ICP) à haut rendement et haute puissance capable de générer une impulsion plasma de courte durée qui crée des particules ionisées. Cette caractéristique réduit le taux de gravure ralenti qui serait normalement vu lors de la gravure de grandes zones. De plus, il offre une meilleure uniformité de gravure sur toute la surface de la plaquette. Plasmalab 100-ICP 180 possède également une machine de refroidissement par évier au niveau des plaquettes. Cela permet un refroidissement rapide qui recueille la chaleur résiduelle produite par le procédé de gravure, garantissant ainsi l'intégrité des matériaux pendant le processus. En outre, il fournit d'excellents angles de gravure et une précision dimensionnelle sur l'ensemble de la plaquette. En ce qui concerne les gaz de gravure, PLASMALAB 100/ICP 180 propose une gamme de mélanges précis composés, sans s'y limiter, de mélanges fluorure d'hydrogène/dioxyde de carbone, de mélanges SF6/SF4 et de mélanges trifluorure de bore/argon. Ceci permet à l'utilisateur d'obtenir une grande uniformité de vitesse de gravure le long de la ligne de plaquette, en obtenant une meilleure précision des caractéristiques et aussi des bords de profil plus vifs. Afin d'obtenir des résultats précis, OXFORD Plasmalab 100-ICP 180 est équipé d'un système avancé de contrôle de pression et de surveillance de la chambre à vide. Ces systèmes permettent un contrôle précis de la pression dans la chambre, ce qui à son tour assure une plus grande précision et répétabilité du processus. Dans l'ensemble, OXFORD Instruments OXFORD PLASMALAB 100/ICP 180 est un graveur/asher idéal qui garantit un contrôle et une répétabilité parfaits du processus - permettant à l'utilisateur d'atteindre la vitesse et la précision lors de la réalisation des applications gravure/cendres.