Occasion OXFORD Plasmalab 100+ ICP 380 #293817369 à vendre en France
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ID: 293817369
Style Vintage: 2009
Reactive Ion Etcher (RIE)
Process module
Process chamber inside-kit
Outside & Inside loadlock
Gas supply
PC
Pump
Power transfer
Chiller
2009 vintage.
OXFORD Plasmalab 100 + ICP 380 est un équipement de gravure et de cendrage plasma leader dans l'industrie qui est spécialement conçu pour offrir un contrôle de précision, de faibles coûts de propriété et de flexibilité pendant le fonctionnement. Ce système est livré avec une taille de chambre de 380mm et une table de 6 "de diamètre qui peut supporter jusqu'à 40lbs de charge. Sa conception unique du globe du corps sous pression comprend une technologie de résonateur en attente de brevet qui fournit un plasma uniforme avec une distribution de puissance uniforme, permettant des lignes plus précises et des profils plus lisses lors de la gravure. Les alimentations RF et DC de l'unité sont toutes deux réglables, ce qui en fait l'un des systèmes de gravure ou d'ashing les plus polyvalents du marché. L'alimentation RF réglable permet des opérations PE et ICP jusqu'à 100 watts, et un réglage de fréquence en vol jusqu'à 40kHz. L'alimentation en courant continu réglable dispose d'une puissance maximale continue de 30 watts et d'une commande en vol pouvant atteindre 555 volts. Cela fait d'OXFORD PLASMALAB 100 ICP 380 un excellent choix pour les procédés monocouche et multicouche. PLASMALAB 100-ICP 380 est également livré avec un écran tactile interactif intuitif qui fait fonctionner et configurer une brise. Ce contrôle graphique permet aux utilisateurs de contrôler et d'ajuster facilement les paramètres de gravure en temps réel, ainsi que de garder un œil sur les températures internes de la chambre qui sont facilement visibles avec la vue de la chambre et les caractéristiques d'imagerie thermique. L'écran tactile convivial fournit également des résumés détaillés du processus de gravure avec des graphiques détaillés et des capacités de collecte de données pour le contrôle de l'exactitude. Plasmalab 100 + ICP 380 offre également des mesures de sécurité fiables pour protéger les utilisateurs et l'équipement. Les caractéristiques de sécurité standard comprennent un entretoisement de pression, un contrôle de pression dans la chambre sous vide et une conception anti-corrosion. De plus, le temps de décompression de la machine est géré par la logique de sécurité intégrée pour s'assurer que la chambre est bien évacuée avant l'activation de la puissance RF. Dans l'ensemble, OXFORD PLASMALAB 100-ICP 380 est une plate-forme de gravure laser exceptionnelle qui offre un excellent contrôle, de faibles coûts et des mesures de sécurité étendues. Ses alimentations réglables, son écran tactile intuitif et ses caractéristiques dynamiques en font un excellent choix pour les processus de précision et les applications dynamiques.
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