Occasion OXFORD Plasmalab 133-ICP 380 #293797492 à vendre en France

OXFORD Plasmalab 133-ICP 380 est un équipement de gravure/cendres plasma qui a été spécialement conçu pour la gravure ionique réactive (RIE), découpe inductivement les processus de gravure et de cendrage du plasma (ICP). Ce système de gravure/cendres plasma polyvalent offre un contrôle précis des processus grâce à son générateur ICP avancé et à son unité de distribution de gaz. Il est capable de graver et ashing techniques utilisées dans le semi-conducteur, MEMS, optoélectronique, stockage de données, LCD et beaucoup d'autres industries. OXFORD PLASMALAB 133 ICP380 incorpore un RPC-150 standard Remote Plasma Chamber (RPC) pour permettre la commande du processus précise de gravure à l'eau forte et d'applications asher. Il est équipé d'une variété de fonctionnalités personnalisables telles que le démarrage et l'arrêt automatiques, la commande de puissance RF, et une machine automatique de surveillance du débit de gaz. Le RPC-150 est équipé d'une chambre de capacité-couplage-réseau de 17 litres qui utilise une ionisation très efficace et uniforme du gaz par couplage inductif de l'énergie RF haute fréquence au procédé désiré. Cela permet d'assurer des résultats de traitement cohérents avec des taux de gravure/cendres ultra bas. PLASMALAB 133 ICP 380 est également équipé d'un puissant outil de distribution de gaz ICP. Il offre des fonctionnalités avancées telles que des panneaux de gaz avec plusieurs canaux, un entrefer de sécurité électrique intégré, et des simulations de flux de gaz 3D. L'actif de livraison de gaz garantit que le modèle fonctionne dans des conditions de processus optimales, offrant des performances de processus et un contrôle de processus supérieurs. Le contrôleur d'OXFORD PLASMALAB 133 ICP 380 est un microprocesseur entièrement programmable, basé sur l'interface utilisateur graphique (UI). Ce contrôleur avancé assure un contrôle précis de l'équipement à toutes les étapes du processus. Le contrôleur prend en charge une variété de paramètres du système tels que la pression de la chambre, la température du substrat, la vitesse du ashar, la vitesse de graveur, la puissance, le débit de gaz et le générateur RF modulé en phase. L'unité prend également en charge les recettes de processus personnalisées développées pour toute application spécifique. PLASMALAB 133 - ICP 380 est une machine de gravure de plasma/cendres fiable et robuste. Il est capable de fournir des résultats reproductibles et de grande qualité quelles que soient les applications de gravure ou de cueillette. Les recettes de processus personnalisées de l'outil le rendent bien adapté pour divers types d'applications dans les domaines des semi-conducteurs, l'optoélectronique, MEMS, et beaucoup d'autres. Plasmalab 133-ICP 380 est un atout idéal pour obtenir une excellente répétabilité et précision de processus pour des résultats de haute performance.