Occasion OXFORD Plasmalab 133-ICP 380 #293830096 à vendre en France

OXFORD Plasmalab 133-ICP 380 est un graveur/asher avancé qui offre un fonctionnement fiable et efficace, ce qui en fait un choix idéal pour des applications de gravure/ashing exigeantes. L'équipement dispose d'une source de plasma à couplage inductif haute performance (ICP), permettant des processus de gravure/ashing rapides et de haute qualité. Au cœur d'OXFORD PLASMALAB 133 ICP380 se trouve une puissante source ICP de 13,56 MHz. Ceci est couplé à un contrôleur numérique en temps réel, permettant un contrôle précis du processus de gravure/cueillette. La source ICP est capable de délivrer des densités de puissance élevées allant jusqu'à 65 W/cm2 avec une répétabilité de processus élevée. Cela garantit des temps de cycle courts et un débit élevé tout en maintenant une excellente qualité de gravure/cendres. PLASMALAB 133 ICP 380 dispose d'une plage de pression de service réglable de 5 à 20 mT, avec une tension d'alimentation maximale de 500V, et une puissance maximale de source de plasma de 500 W. Cela permet un contrôle précis du processus de gravure/cueillette, permettant des résultats supérieurs. Le système comprend également une interface logicielle conviviale, permettant une configuration facile et l'optimisation des paramètres de gravure/ashing. PLASMALAB 133 - ICP 380 est équipé d'une large gamme d'accessoires, dont une tête de douche en quartz avec buse intégrée, ainsi que d'une unité de sécurité intégrée pour protéger la source de plasma contre la surcharge accidentelle. La machine dispose également d'une faible empreinte, ce qui lui permet d'être facilement intégrée dans la plupart des configurations expérimentales existantes. OXFORD PLASMALAB 133 - ICP 380 est un excellent choix pour les tâches de gravure/encrage dans les procédés de semi-conducteur, MEMS et autres procédés de microfabrication. Avec son contrôle précis du processus de gravure/cendrage, une excellente qualité de gravure/cendres et une grande efficacité, il offre un excellent rapport coût-bénéfice pour les chercheurs et les industries qui exigent une grande précision et des performances élevées sans dépasser leurs budgets.