Occasion OXFORD Plasmalab 133 Plus #293760250 à vendre en France

OXFORD Plasmalab 133 Plus
ID: 293760250
PECVD System, parts system No Gas box No Pump No PC.
OXFORD Plasmalab 133 Plus est un équipement de gravure/asher plasma qui est utilisé pour des applications de gravure et ashing de qualité industrielle. Il combine des sources de plasma hyperfréquence de haute puissance avec une technologie avancée de gravure et de cendrage. Le système est basé sur un processeur plasma de 200 mm et est capable de produire des résultats de processus thermique et plasma haute résolution. Cette unité offre une large gamme de contrôle d'anisotropie, permettant à ses utilisateurs d'obtenir des résultats de gravure et de cueillette très précis. Plasmalab 133 Plus offre une large gamme de fonctionnalités. Il dispose d'une résolution d'uniformité de 1200 µm qui peut être utilisé dans le traitement des matériaux avec des rapports d'aspect élevés. Il est capable de doper/défoncer des couches jusqu'à 200nm d'épaisseur avec une très grande précision. De plus, il est équipé de diverses sources de procédés alternatifs pour le dépôt d'aluminium et de cuivre, l'anodisation, la sérigraphie, la diélectrique non conductrice et la gravure par pulvérisation. En matière de sécurité, OXFORD Plasmalab 133 Plus a été conçu pour répondre à des normes de sécurité rigoureuses. Il dispose de systèmes de sécurité Interlock-Net qui surveillent la pression, la température et les paramètres de sécurité et assurent un fonctionnement continu et sûr. De plus, il dispose d'une machine de gestion des gaz d'échappement bas de gamme qui réduit l'impact des matières dangereuses et contribue à assurer le respect de la réglementation environnementale. En termes de productivité, Plasmalab 133 Plus offre un débit élevé pouvant atteindre 700 plaquettes par heure. Il est également équipé de fonctions de contrôle de processus avancées telles que les paramètres de processus automatisés, la programmation de recette de processus, et la surveillance des conditions au niveau de la plaquette. En outre, il intègre une interface graphique-utilisateur qui permet aux utilisateurs de visualiser une large gamme de métriques de processus. OXFORD Plasmalab 133 Plus est un outil de gravure et d'ashing avancé et très réactif pour l'industrie des semi-conducteurs. Il est conçu avec un ensemble impressionnant de fonctionnalités et d'outils qui permet aux utilisateurs d'obtenir des résultats très précis avec un minimum d'effort.
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