Occasion OXFORD Plasmalab 133 #9090816 à vendre en France

OXFORD Plasmalab 133 est un équipement de gravure et d'asher haute performance, capable de produire des motifs complexes sur des matériaux utilisés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Conçu pour des applications de gravure chimique et de gravure ionique assistée par voie chimique (CAI), il est capable de traiter un large éventail de paramètres. Son contrôle informatique robuste et convivial permet des processus de gravure et de cueillette en plusieurs étapes avec un contrôle et une répétabilité très serrés. Plasmalab 133 combine des contrôles de pression et d'autres technologies de gravure avancées dans un emballage modulaire unique. Son générateur RF de haute puissance, adapté à la gravure et au cendrage, offre des performances de processus optimales à différents niveaux de pression. OXFORD Plasmalab 133 peut gérer toutes les techniques courantes de gravure et de cendrage, y compris la gravure humide standard, la gravure sèche, le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD), la gravure ionique réactive (RIE) et la gravure par faisceau d'ions (IBE). Le système est entièrement automatisé et peut accueillir des substrats jusqu'à 200mm de diamètre, ce qui le rend bien adapté aux applications de traitement par lots. Plasmalab 133 est un graveur et asher ultra précis. Son intégration de technologies avancées de contrôle et de détection des processus, combinée à sa capacité à mesurer avec précision les caractéristiques de gravure telles que la température, la pression et la puissance, fournit les moyens pour la gravure automatisée de haute précision et le cendrage. Il est capable de créer des vias, tranchées, et d'autres caractéristiques complexes qui nécessitent un contrôle serré. En outre, l'unité dispose d'une visionnage vidéo intégrée, permettant aux opérateurs de surveiller les processus de gravure depuis les bords de la chambre à vide, permettant des réglages rapides au besoin. Le logiciel SOP inclus de la machine offre un développement de processus puissant et la flexibilité de contrôle. Le logiciel permet de configurer plusieurs recettes pour différents paramètres de gravure et flux de gaz. En outre, le logiciel est compatible Internet, permettant un contrôle flexible et à distance. OXFORD Plasmalab 133 est un outil avancé de gravure et de cendrage haut de gamme, conçu pour le fonctionnement manuel et automatisé. Il s'agit d'une solution complète de gravure et d'ashing, offrant des temps de processus rapides, une grande précision et un contrôle précis des caractéristiques de gravure.