Occasion OXFORD Plasmalab 133 #9404282 à vendre en France

Fabricant
OXFORD
Modèle
Plasmalab 133
ID: 9404282
PECVD System.
OXFORD Plasmalab 133 est un asher plasma haute performance conçu pour la gravure, le nettoyage et la modification de surface de tous types de substrats. C'est un outil tout-en-un qui en fait un choix idéal pour une utilisation dans des applications de recherche, de développement et de production de pointe. La machine est un outil convivial, facile à configurer et à utiliser. Plasmalab 133 a une conception compacte sur banc et est construit en acier inoxydable pour fournir une excellente performance et fiabilité. Il dispose d'un contrôleur de pression intégré, d'un indicateur de température réglable et d'un écran numérique PID qui permet un contrôle précis du processus de gravure. Il utilise la puissance RF pour créer une décharge haute densité d'espèces actives, qui peut être accordé pour obtenir jusqu'à 10 mTorr pression de chambre. Grâce à sa puissance réglable et répétable, la machine peut graver jusqu'à une précision de 1 micron dans une grande variété de matériaux et de substrats. OXFORD Plasmalab 133 est capable de fonctionner en mode lot ou gravure continue. Il a une haute tolérance à la température allant jusqu'à 350 ° C et peut graver une épaisseur allant jusqu'à 0,25 microns. La machine peut également fonctionner en mode gravure ionique réactive (RIE). Le mode RIE est utile pour graver des motifs complexes, tels que 3D-structuring. Plasmalab 133 est également livré avec deux alimentations en gaz, O2/CF4, pour un contrôle de précision du processus de gravure. Pour assurer la sécurité, OXFORD Plasmalab 133 est livré avec un verrouillage de sécurité intégré. La machine dispose également d'un système de détection de fuite de vide qui va couper l'alimentation en courant en cas de fuite de vide. La chambre à vide est conçue pour fonctionner avec des cryopumps standard, de sorte que le vide peut être maintenu de manière fiable tout au long du processus de gravure. Plasmalab 133 est un outil idéal pour toute application nécessitant une gravure plasma précise. Avec sa conception conviviale, sa facilité d'utilisation et ses capacités de haute performance, il est un choix parfait pour une variété de tâches dans la recherche et la production.
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