Occasion OXFORD Plasmalab 80 Plus-M #293604357 à vendre en France

ID: 293604357
Reactive Ion Etcher (RIE).
OXFORD Plasmalab 80 Plus-M est un équipement de graveur/asher conçu pour la création rapide de gravures fines et de cendres dans des environnements plasmatiques à basse pression. Le système est une unité entièrement automatisée et très polyvalente capable de traiter des substrats de différentes formes et tailles. La machine se compose d'une chambre à vide et d'un outil de distribution de gaz avec des connexions directes à plusieurs sources de gaz, permettant de maintenir des conditions de processus multiples. Plasmalab 80 Plus-M utilise une source de plasma à couplage capacitif (CCP), alimentée par une alimentation haute fréquence, pour permettre le processus de gravure et de cueillette. Une gamme de gaz, y compris l'oxygène, l'azote, l'argon, les fluorocarbones et les hydrocarbures, ainsi qu'une gamme de niveaux de pression et de puissance pour faciliter la gravure et le cendrage à haute résolution. L'actif est équipé d'une table tournante programmable, permettant le chargement et le traitement commode de plusieurs substrats. L'uniformité du dépôt est renforcée par un écran de dépôt symétrique avec un microcontrôleur Arduino intégré pour un contrôle précis du débit de gaz. L'utilisation de l'énergie du modèle est maximisée grâce à la technologie de trempe des bobines et aux temps de cycle rapide, qui peuvent être aussi bas que 30 ms. En outre, l'équipement est équipé d'un système de surveillance pour surveiller les conditions de dépôt, la température de la chambre et la propreté. OXFORD Plasmalab 80 Plus-M est une solution idéale pour des résultats de processus de haute précision, fiables et reproductibles.
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