Occasion OXFORD Plasmalab 800 Plus #293620207 à vendre en France
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ID: 293620207
PECVD System
Gas configuration:
NH3 50 SCCM
SiH4 5% N2 95% 1SLM
N2O 200 SCCM
N2 2000 SCCM
CF4 80% O2 20% 500 SCCM.
OXFORD Plasmalab 800 Plus etcher/asher est un équipement de gravure et d'ashing haute performance et économique conçu pour des applications dans les industries de la microélectronique et de la recherche. Son grand volume de travail de 7,5 litres permet aux utilisateurs de graver et d'asher jusqu'à quatre plaquettes à la fois, tandis que la faible pression de base de 3 mTorr le rend adapté à une variété de processus de gravure et de cueillette. Plasmalab 800 Plus dispose d'un système électronique avancé avec une interface utilisateur intuitive, permettant aux utilisateurs de configurer et d'adapter leurs processus de gravure et d'ashing. Cela inclut un éditeur de recettes qui permet aux utilisateurs de configurer leurs paramètres de gravure et d'ashing et de les adapter aux exigences spécifiques. Les régulateurs de débit massique intégrés dans l'unité assurent que le débit de gaz est toujours ajouté dans des rapports appropriés et avec la bonne pureté. OXFORD Plasmalab 800 Plus offre une variété de produits chimiques de gravure et d'ashing pour une gamme d'applications incluant la gravure d'oxyde, la passivation et l'activation. Sa conception à trois chambres permet une variété de configurations de gravure, avec plusieurs options de processus, y compris la source de plasma couplée inductivement et la source de décharge brillante. En outre, la machine offre une variété d'autres caractéristiques utiles, telles qu'une source laser pour l'alignement des plaquettes, une source manuelle pour l'alignement des échantillons et une chambre de cendrage dédiée. L'outil peut être utilisé en mode entièrement automatisé avec le logiciel OXFORD Plasmalab IC, qui permet aux utilisateurs de contrôler complètement leurs séquences de gravure et d'ashing. Le logiciel permet à l'utilisateur de configurer ses propres recettes et de suivre le processus en temps réel, avec une variété de fonctions d'alarme et de sécurité qui peuvent être personnalisées en fonction de ses besoins. Dans l'ensemble, Plasmalab 800 Plus offre aux utilisateurs un moyen fiable et économique de graver et d'asher leurs matériaux avec précision et précision. Ses fonctionnalités avancées, son interface utilisateur intuitive et ses capacités automatisées en font un excellent choix pour de nombreuses applications dans les industries de la microélectronique et de la recherche.
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