Occasion OXFORD Plasmalab 800 Plus #9250156 à vendre en France

OXFORD Plasmalab 800 Plus est un graveur et asher avancé spécialement conçu pour atteindre des vitesses de gravure répétables et une surface gravée uniformément, même sur des surfaces aux géométries difficiles. Plasmalab 800 Plus est alimenté par une source d'énergie, qui délivre du plasma à haute performance et à faible bruit à la chambre de process. Le système dispose également d'un capteur optique avancé, qui permet de détecter, mesurer et analyser efficacement le potentiel en circuit ouvert et la vitesse de dépôt réactif, permettant à l'utilisateur de contrôler avec précision le processus de gravure. OXFORD Plasmalab 800 Plus dispose d'une chambre de traitement logicielle intelligente avec une large gamme de paramètres de processus, créant les conditions pour une gravure du matériau la plus sûre et la plus efficace, avec une pompe à vide intégrée, un refroidissement de l'eau et des systèmes de récupération de brouillard d'huile. Il est capable de graver une variété de matériaux délicats largement utilisés dans les applications microélectroniques, y compris le silicium et l'arséniure de gallium. En outre, Plasmalab 800 Plus dispose d'un obturateur global qui permet un contrôle in situ de l'obturateur, offrant une flexibilité pour chaque période de gravure. La sortie alternative de l'alimentation électrique est réglable de 0 à 100 %, assurant un contrôle total du processus. L'espace vertical effectif de la chambre de gravure présente une tolérance de 0,2 mm. Les trois principales méthodes de gravure supportées par OXFORD Plasmalab 800 Plus sont la gravure planaire, la gravure raster et la gravure aveugle. La gravure planaire et la gravure raster nécessitent un balayage de coordonnées X, Y et thêta. Pour la gravure à l'aveugle, le balayage thêta est remplacé par une mesure en un seul point. La méthode de gravure planaire est la meilleure lors de la gravure de couches avec des rapports d'aspect plus élevés, tandis que la gravure raster est la meilleure utilisée sur les couches denses avec des rapports d'aspect petits. La gravure à l'aveugle peut être utilisée pour les couches avec de grands rapports d'aspect et des couches de hauts rapports d'aspect sans caractéristiques fines. La sécurité de l'utilisateur est assurée par trois caractéristiques de sécurité principales : le système Interlock où la porte de la chambre de traitement ne s'ouvrira pas à moins que le processus de gravure soit arrêté, un capteur de fuite pour détecter la collecte sous pression de particules et de produits chimiques, et l'émetteur/récepteur ultrasonore. Toutes ces caractéristiques garantissent une sécurité maximale lors des opérations de gravure. Lorsque la fonction Plasmalab 800 Plus Auto-Save n'est pas utilisée, tous les paramètres du processus sont sauvegardés, ainsi que les signatures du processus de gravure qu'ils produisent. Cette fonctionnalité permet à l'utilisateur de répéter les processus de gravure précédents avec un minimum d'effort. Il surveille également l'état du processus, permettant à l'utilisateur d'évaluer les performances de gravure avant le début de la production.