Occasion OXFORD Plasmalab 800 #293830575 à vendre en France

OXFORD Plasmalab 800 est un graveur et asher embarqué avancé. Il comprend une source de faisceau d'ions haute résolution embarquée et un équipement de livraison de gaz réactif. Il est conçu pour fournir précision et précision dans les processus de gravure et de cueillette, ce qui le rend idéal pour un large éventail d'applications. Le graveur/asher a un taux de gravure de dépôt élevé de 5µm/min et peut atteindre des temps allant jusqu'à 1200K tout en améliorant la sélectivité, la répétabilité et la définition des bords. Plasmalab 800 possède une large gamme de gaz de procédé, dont FF, SF, CF4, CHF3, CF2Cl, CF 2Br, C 2F 2Cl 2 et C 2F 2Br. Il a également une variété de cycles de pression et de température disponibles pour une variété de produits chimiques de substrat. OXFORD Plasmalab 800 est également équipé d'un système de surveillance en direct pour ses paramètres de processus. Cela comprend le débit de gaz, le taux de dépôt, le pourcentage de dépôt, la concentration de gaz, la pression et la température. Il permet également une surveillance à distance et peut être utilisé avec une connexion réseau locale ou directement accessible par Internet. L'unité est autonome, facile à utiliser et à entretenir. Il dispose d'une interface utilisateur graphique intuitive (UI) ainsi que d'un manuel complet pour la configuration opérationnelle et le dépannage. Il peut accueillir 4 « - 8 » substrats jusqu'à 3mm d'épaisseur et ne nécessite aucun nettoyage après gravure. Plasmalab 800 est un outil de pointe pour la gravure et le cendrage de précision. Le faisceau d'ions haute résolution embarqué et la machine de distribution de gaz le rendent idéal pour une grande variété d'applications de microfabrication. Il est capable de produire rapidement et précisément des couches de processus avec une excellente répétabilité et définition des bords. L'outil intégré de surveillance à distance permet un diagnostic et une maintenance faciles. Ensemble, ces caractéristiques font d'OXFORD Plasmalab 800 un outil puissant et très précieux.