Occasion OXFORD Plasmalab DP-80 #293651901 à vendre en France
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OXFORD Plasmalab DP 80 est un graveur/asher pour la production de films ultra-fins de haute qualité. C'est l'un des systèmes de gravure et de dépôt plasmatiques les plus avancés disponibles aujourd'hui et il est utilisé pour un large éventail d'applications, y compris le traitement de la microélectronique des semi-conducteurs, la nanotechnologie, le stockage de données et d'autres applications nécessitant des couches de précision. Au cœur, le Plasmalab DP 80 se compose d'une chambre de procédé dotée d'un système de transfert de plaquettes sous vide commandé par ordinateur, d'une source d'ions et d'une entrée multi-gaz. Il a été conçu pour fonctionner sous vide à basse pression (< 50 mTorr) ou haute pression (< 300 mTorr). L'ensemble est également équipé d'une source de plasma stabilisé à température inertielle (ITSP), fournissant un procédé de dépôt/gravure très uniforme et indépendant du mouvement des plaquettes. OXFORD Plasmalab DP 80 est également livré avec un système de gaz entièrement programmable, permettant aux utilisateurs de personnaliser leurs solutions de processus et d'optimiser leurs propriétés pelliculaires. En outre, Plasmalab DP 80 comprend une source de plasma spécialement développée qui fournit des ions positifs et négatifs pour des applications telles que l'érosion du faisceau d'ions et l'implantation d'ions. Le DP 80 est capable de modeler des caractéristiques discrètes à des résolutions aussi faibles que 25 microns et est conçu pour être compatible avec tout processus PECVD, pulvérisation et évaporation. La machine est également conçue pour être compatible avec une variété de différents procédés de dépôt et de gravure tels que diélectrique, poly-Si, cuivre, cobalt, argent, aluminium et titane. OXFORD Plasmalab DP 80 peut être intégré dans de nombreux laboratoires et installations, et sa construction robuste et ses composants haut de gamme en font un choix populaire pour les procédés de fabrication de masse. Par exemple, sa construction robuste et ses composants haut de gamme lui permettent de fonctionner jusqu'à des pressions allant jusqu'à 98 Torr et disposent d'un nettoyage automatique des chambres et d'une rotation des plaquettes, avec un taux de répétabilité supérieur à 1 micron. Dans l'ensemble, Plasmalab DP 80 est un système de gravure et de dépôt chimique plasma polyvalent et puissant. C'est un excellent choix pour diverses industries qui ont besoin de couches de film de précision pour leurs produits, et ses caractéristiques personnalisables et son fonctionnement le rendent idéal pour les séries de production de masse. Avec son fonctionnement avancé et son évolutivité, c'est un excellent choix pour quiconque a besoin d'un graveur/asher de qualité industrielle.
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