Occasion OXFORD Plasmalab PRS900 #293640277 à vendre en France
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ID: 293640277
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1995
PECVD System, 6"
1995 vintage.
OXFORD Plasmalab PRS900 est un graveur/asher robuste et haute performance qui est conçu pour fournir aux utilisateurs la capacité de graver et asher avec précision une variété de matériaux. Le graveur/asher est un outil multifonctionnel capable de graver, d'aspirer et de nettoyer une variété de matériaux et de substrats. Il dispose à la fois d'une chambre de gravure et d'une chambre asher. La chambre de gravure dispose d'une source radiofréquence (RF) et d'une capacité de vide, qui permettent une gravure précise et précise. La chambre asher dispose également d'une source RF, avec à la fois la puissance DC et RF pour l'habillage ashing. Le procédé de gravure est initié dans l' PRS900 par introduction d'un gaz de travail et d'un matériau substrat dans la chambre de gravure, où ils sont exposés à la source RF. Cette fonction fait dépendre les débits d'évacuation des matériaux des paramètres tels que le type de substrat, le type de gaz, la pression du gaz, le débit de gaz et le temps d'exposition à la gravure du substrat. La chambre asher utilise une source de courant continu (DC) et RF pour découper les échantillons à la taille désirée, avec une forme de garniture concentrique à la chambre de gravure. Le PRS900 dispose également d'un système de contrôle de processus en boucle fermée, qui utilise la pression, le temps et la température pour ajuster finement les processus de gravure et d'ashing. Le PRS900 dispose d'une gamme de caractéristiques uniques telles qu'une chambre de processus amovible pour la programmation flexible de la recette, le refroidissement automatique, la protection du système contre la température, le calcul du débit massique de gaz pour assurer des résultats reproductibles, et un circuit d'adaptation RF pour une génération de plasma optimisée. Toutes ces fonctionnalités garantissent que le graveur/asher est prêt pour les profils gravés standard et personnalisés qui peuvent atteindre une variété de profondeurs et de tailles de fonctionnalités. Plasmalab PRS900 est un outil polyvalent pour les projets de gravure et d'ashing à petite et grande échelle. Il offre une gamme de fonctionnalités pour améliorer la précision et la précision, ce qui signifie que les utilisateurs peuvent maintenant effectuer des tâches de gravure et de cueillette complexes avec facilité. Avec une génération de plasma optimisée, des résultats reproductibles et une programmation de recette flexible, le PRS900 facilite la gravure et le cendrage.
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