Occasion OXFORD PlasmaPro 100 Cobra #293794608 à vendre en France

Le Cobra OXFORD-Pro 100 est un équipement de pointe de graveur/asher plasma, conçu pour les procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs et de dispositifs microélectroniques. Cet outil polyvalent intègre une technologie innovante pour fournir des capacités de traitement plasma de haute performance pour un large éventail d'applications en recherche et développement. Le Cobra Pro 100 est au cœur de sa configuration unique à double source de plasma, avec des sources de plasma à couplage inductif (ICP) et en aval. Cette conception à double source offre une flexibilité et un contrôle accrus des processus, ce qui permet aux utilisateurs d'adapter leurs propriétés plasmatiques aux exigences spécifiques des processus. La source du PIC génère un plasma à haute densité doté de capacités d'ionisation efficaces, tandis que le plasma en aval améliore l'uniformité et la stabilité des processus. Le système dispose d'une empreinte compacte et d'une interface conviviale, ce qui le rend adapté aux environnements universitaires et industriels de recherche. L'interface logicielle intuitive facilite le développement de recettes et l'optimisation des processus, permettant aux utilisateurs de s'adapter rapidement à l'évolution des besoins de recherche. En outre, les capacités d'automatisation avancées de l'unité rationalisent le fonctionnement et augmentent la productivité, minimisant les temps d'arrêt et maximisant le débit. Le Cobra OXFORD-Pro 100 offre une large gamme de possibilités de processus, y compris la gravure, l'ashing, la modification de surface et le nettoyage. La machine est équipée d'une gamme d'options de distribution de gaz, permettant un contrôle précis des gaz de procédé et des débits. Cela permet aux utilisateurs de mener une variété de processus plasmatiques, tels que la gravure isotrope et anisotrope, la passivation, le descumming et la résistance au strippage. Les capacités de puissance RF avancées de l'outil permettent un contrôle précis de la densité et de l'énergie du plasma, facilitant le réglage des paramètres du processus pour obtenir des résultats optimaux. De plus, l'actif dispose d'une gamme de réseaux d'appariement RF et d'options d'accord pour répondre à divers matériaux de substrat et exigences de processus. La Cobra Pro 100 est équipée de capacités de détection d'endpoint avancées, permettant un suivi en temps réel de la progression du processus et assurant un contrôle précis des profondeurs de gravure et de la sélectivité. Cette fonctionnalité améliore la répétabilité et le rendement du processus, ce qui permet d'obtenir des performances cohérentes et fiables. En termes de sécurité et de fiabilité des modèles, le Cobra OXFORD-Pro 100 est conçu avec des matériaux et des composants robustes pour garantir des performances et un fonctionnement à long terme. L'équipement intègre des dispositifs de sécurité avancés et des systèmes de surveillance pour prévenir les déviations de processus et assurer la protection des utilisateurs. Dans l'ensemble, le Cobra Pro 100 représente une solution de pointe pour le traitement du plasma dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et microélectroniques. Avec sa configuration innovante à double source de plasma, ses capacités d'automatisation avancées et ses options de processus polyvalentes, ce système offre une flexibilité, un contrôle et des performances inégalés pour un large éventail d'applications de recherche et de développement.