Occasion OXFORD PlasmaPro 100 #293663573 à vendre en France
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L'OXFORD-Pro 100 est un graveur et asher conçu pour la recherche sur les semi-conducteurs et le développement de matériaux avancés. Il offre un système intégré de détection des points d'extrémité, permettant un contrôle précis des points d'extrémité de gravure, un transfert facile des données vers des systèmes externes et une fiabilité améliorée. Cet ecther/asher est équipé d'une large gamme de caractéristiques qui favorisent la fiabilité et le niveau de qualité des processus les plus élevés. L'une des caractéristiques les plus importantes de cette dernière est sa capacité à graver et à cendrer avec précision une variété de matériaux en un seul procédé. Cela comprend les métaux, les oxydes, les nitrures et les polymères qui peuvent être traités dans des technologies à base de plasma et électroniques. Il offre un contrôle précis sur les profilés de gravure latéraux et verticaux. Le graveur/asher est composé d'une chambre de procédé et d'un système de vide de type loadlock, d'un panneau à gaz et d'une source de plasma exclusive montée sur le dessus. Le panneau de gaz a été conçu avec une capacité de communication avec les systèmes externes, ainsi que les régulateurs de pression et de température. La source d'énergie d'OXFORD, OXFORD, est également capable de produire jusqu'à 100 watts de puissance. Cette source d'énergie est capable de délivrer une puissance constante et une grande homogénéité plasmatique à travers le substrat, même lors du traitement de films multicouches. Ce graveur-cendrier peut traiter jusqu'à trois pouces de substrats et est capable d'atteindre des profondeurs de gravure totales allant jusqu'à 30 µm. PlasmaPro 100 a de nombreux traits supplémentaires pour garantir des processus fiables. Il a été conçu pour des températures de fonctionnement basses, une sélectivité de processus élevée, des vibrations mécaniques minimales et des profils de gravure uniformes. Il dispose également d'une capacité de débit élevée, avec charge et déchargement de cassettes de substrat, et est équipé d'une garantie de qualité de processus configurable en surveillant les chambres. Dans l'ensemble, OXFORD CentrePro 100 est un graveur et asher hautement polyvalent, fiable et efficace pour le développement de matériaux avancés. Il est capable de traiter un large éventail de matériaux, possède un contrôle précis du point d'extrémité et offre un débit élevé. Il dispose également d'un système intégré de détection des points d'extrémité, d'une capacité de communication avec des systèmes externes et de fonctionnalités configurables d'assurance de la qualité des processus. Avec sa conception robuste et ses capacités de contrôle précises, cette ecther/asher fournit une solution idéale pour la gravure et la cendre de matériaux avancés.
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