Occasion OXFORD PlasmaPro 800 Plus #9412285 à vendre en France

Le OXFORD-Pro 800 Plus est un graveur/asher spécialement conçu pour la gravure à grande vitesse des substrats semi-conducteurs. L'outil de gravure à grande vitesse est équipé de technologies avancées de micro-ondes et de plasma RF, qui permettent une gravure plus rapide avec des rendements et une précision plus élevés. PlasmaPro 800 Plus les traits une grande région worktable avec quatre réflecteurs d'halogène de quartz qui permettent la haute livraison de pouvoir à travers la surface entière. Les réflecteurs sont revêtus d'un matériau diélectrique spécial pour éviter la création de micro-décharges et assurer un processus de gravure uniforme et précis. Le OXFORD-Pro 800 Plus est équipé de quatre sources RF fonctionnant dans la gamme de fréquences hyperfréquences de 13,56 MHz. Chacune de ces quatre sources RF a une seule sortie RF qui peut être configurée pour la gravure ou l'ashing. L'outil offre également des ressources supplémentaires pour la fourniture et le contrôle de puissance configurable, permettant une plus grande précision et flexibilité pour différents processus de gravure. PlasmaPro 800 Plus présente aussi un mécanisme de mise en scène de précision de haute précision qui est conçu pour exactement régler la position du substrate. Le mouvement de précision est réglé par un servomoteur micro-moteur équipé d'un réglage double axe et d'un codeur haute résolution. Ceci permet de maintenir le niveau des substrats tout en exécutant le processus de gravure. Un autre élément distinctif d'OXFORD, le Pro 800 Plus, est ses systèmes avancés de surveillance et de contrôle des processus. Il dispose d'une gamme de moniteurs, tels qu'un moniteur d'intensité plasmatique en temps réel, un moniteur de temps de processus et un moniteur de température du substrat, pour fournir une rétroaction en temps réel sur le processus de gravure. Il contient également un système de contrôle des processus qui permet aux utilisateurs d'ajuster avec précision les paramètres de gravure pour des conditions de processus spécifiques. PlasmaPro 800 Plus inclut aussi une base de données de processus complète, qui permet aux utilisateurs de conserver et récupérer des données de traitement avec l'aisance. Les données peuvent être rapidement et facilement extraites de la mémoire non volatile et sont organisées selon des conditions de processus spécifiques. Le OXFORD-Pro 800 Plus est un outil essentiel pour la gravure rapide et précise des substrats semi-conducteurs. Il est équipé de technologies de plasma RF et micro-ondes avancées, d'un mécanisme de mise en scène sophistiqué et d'une base de données complète sur les processus. L'outil dispose également d'une gamme de moniteurs et d'un système de contrôle des processus qui permettent aux utilisateurs d'ajuster et de surveiller le processus de gravure en temps réel. Cela offre aux utilisateurs un contrôle, une précision et une flexibilité accrues.