Occasion OXFORD PlasmaPro NGP 1000 #293587283 à vendre en France

OXFORD PlasmaPro NGP 1000
ID: 293587283
Taille de la plaquette: 12"
PECVD System, 12".
PlasmaPro NGP 1000 D'OXFORD est un etcher/asher qui fait marcher l'utilisation la technologie de Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD). Il est basé sur une plaque parallèle, composant alimenté par micro-ondes, suffisamment polyvalent pour accueillir un large éventail d'applications. Ce modèle présente une meilleure uniformité de dépôt des couches minces avec une qualité de surface optimale pour des applications microélectroniques complexes. Il est conçu pour le prototypage rapide et la production à haut débit de dispositifs à couches minces, offrant une répétabilité de processus élevée et des performances fiables. OXFORD PLASMA PRO NGP1000 est un équipement basse pression conçu pour offrir le plus haut niveau de sécurité et de fiabilité des composants. Ce système dispose d'une interface graphique conviviale intégrée et est conçu pour assurer un dépôt modéré à élevé à basse température de fonctionnement. Cet etcher peut gérer diverses tâches de dépôt de films avec une grande précision, telles que des revêtements de couches minces pour MEMS, des transistors à couches minces, des mémoires ferroélectriques et des cellules solaires. En outre, il peut être utilisé comme graveur sec, offrant un processus de gravure sûr et rapide des polymères, des métaux, des oxydes et des couches semi-conductrices. PlasmaPro NGP 1000 a une gamme de pouvoir de 0-500W, en offrant un large éventail de flexibilité de processus. Il a une plage de pression réglable de 0,5-10 mTorr, des débits de gaz réglables de 10-1000 sccm, et une fréquence RF réglable qui peut s'étendre de 0-13,56 MHz. Le plasma est chauffé par une source RF de 13,56 MHz, afin de générer les espèces actives nécessaires pour guérir les processus de gravure et de dépôt sans avoir besoin de chaleur supplémentaire. De plus, l'unité comprend un système d'emboîtement indépendant pour assurer la sécurité totale de son contenant de procédé. Dans l'ensemble, PLASMA PRO NGP1000 est un graveur/asher fiable et flexible qui offre des avantages importants dans une variété d'applications de prototypage. Il peut fournir des résultats reproductibles et précis avec une maintenance minimale et convient à un large éventail d'industries, y compris la microélectronique, le MEMS, la ferroélectrique et les transistors à couches minces. Sa conception basse pression et son fonctionnement facile en font un excellent choix pour ceux qui recherchent une machine de dépôt puissante et fiable.
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