Occasion OXFORD PlasmaPro NGP 1000 #293636250 à vendre en France

OXFORD PlasmaPro NGP 1000
ID: 293636250
Taille de la plaquette: 12"
PECVD System, 12".
L'OXFORD-Pro NGP 1000 est un Plasma Asher/Etcher de haute précision conçu pour fournir des résultats exceptionnels dans les applications de gravure et de cendrage. Il utilise une alimentation moyenne fréquence basse tension pour fournir une puissance de sortie très stable. En outre, son générateur RF avancé et les techniques de stabilisation de Paschen's Law garantissent des performances de gravure et d'ashing supérieures. Le NGP 1000 est équipé d'un équipement de contrôle intuitif permettant un fonctionnement facile, et sécurisé par un système de sécurité intégré pour la prévention des risques. Le NGP 1000 est capable de générer une gravure profonde avec une résolution latérale extrêmement fine, des profils de gravure uniformes et des rapports d'aspect lisses avec une répétabilité supérieure. Le graveur de haute précision est intégré à un régulateur de débit massique en boucle fermée pour un contrôle précis de la pression de la chambre, du vide bas au vide ultra-haut, permettant des processus de gravure précis. Il dispose également d'un régulateur de température pour maintenir une température uniforme tout au long du processus de gravure et de cueillette. En outre, la taille de la chambre NGP 1000 est capable de loger des substrats jusqu'à 12 pouces de diamètre. Le biais RF avant de l'appareil dispose d'un temps de retard sélectionnable et de la capacité de simulation de plusieurs enveloppes impulsionnelles pour fournir les sélections parfaites pour différentes applications de gravure. En outre, la machine de chauffage du substrat arrière peut être utilisée pour supprimer la génération de particules indésirables, tandis que le robot intégré de haute précision peut être utilisé pour exécuter des opérations précises avant et après gravure. L'outil de livraison uniforme de flux ionique du NGP 1000 garantit une profondeur de gravure et un profil optimaux, ainsi qu'une reproductibilité cohérente des résultats. En outre, l'graveur polyvalent est compatible avec une gamme de mélanges de gaz, dont l'Argon, le Fluorure et le Carbone. Cela garantit que le NGP 1000 peut être utilisé pour un large éventail d'applications, de la gravure de base à la gravure profonde des matériaux métalliques et non métalliques. Globalement, le NGP 1000 est un choix idéal pour des applications de gravure et de cendrage de haute précision et répétables dans un environnement industriel.
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