Occasion OXFORD PlasmaPro NGP 1000 #293765806 à vendre en France
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ID: 293765806
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2012
PECVD System, 8"
Load Locked Chamber
System PC, Keyboard, Mouse
X20 PLC
Chamber heating kit
Dual frequency RF
HF RF Generator
LF RF Generator
490 mm Diameter Aluminum Lower Electrode
Gas-shock assisted chamber lift mechanism
Dry pump
Load lock vacuum pump
Operations manual and documentation
X20 External Gas Box
2012 vintage.
L'OXFORD-Pro NGP 1000 est un graveur et asher avancé adapté à une large gamme de matériaux. Il dispose d'une source puissante de 1 kW qui permet une gravure et une cueillette précises et efficaces des plaquettes jusqu'à 4 pouces de diamètre. De plus, le NGP 1000 dispose d'une commutation rapide des sources RF qui permet une transition transparente entre les processus, ce qui le rend adapté à un certain nombre de besoins croissants de gravure/cueillette. Le NGP 1000 a une plage de température de -50 ° C à + 50 ° C ce qui lui permet de graver et d'asher une variété de matériaux jusqu'à 1,6 mm d'épaisseur. En outre, il dispose d'une 400MHz Fréquence- et 0 9s Pulsing Resolution leader de l'industrie qui améliore la précision et la précision dans le processus de gravure. Le matériel de pointe permet également un contrôle précis de la pression du gaz, permettant un processus plus cohérent et de meilleurs résultats de qualité. La conception robuste et efficace du NGP 1000 permet une large gamme d'applications allant de la gravure rapide au traitement à basse température. L'équipement comprend également un certain nombre de fonctionnalités avancées telles que la capacité de traitement parallèle et la surveillance de processus en temps réel, ce qui le rend bien adapté pour des besoins de gravure et d'ashing hautement spécifiés. De plus, le NGP 1000 est équipé d'un porte-plaquettes FOUP intégré, ce qui lui permet de charger et de traiter jusqu'à huit plaquettes à la fois. Le NGP est également entièrement compatible avec le logiciel OXFORD System Control, qui permet aux utilisateurs de contrôler pleinement les différentes fonctionnalités et paramètres de l'unité. Ce logiciel permet aux utilisateurs de créer et de stocker de nombreuses recettes de processus et de surveiller les résultats en temps réel. En outre, le logiciel est livré avec une gamme de fonctionnalités qui le rendent facile à surveiller et contrôler la machine ainsi que stocker en toute sécurité les données de recette. Dans l'ensemble, OXFORD PLASMA PRO NGP1000 est un graveur et asher professionnel équipé d'une source puissante de 1 kW, d'un contrôle précis de la pression du gaz et d'un matériel de pointe qui le rend adapté à une variété d'applications. Il comprend également un certain nombre de fonctionnalités avancées, telles que le traitement parallèle, le support de plaquettes FOUP et le logiciel Oxfords 'Tool Control, qui font du NGP 1000 un choix idéal pour la gravure de précision et les besoins de cendrage.
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