Occasion PINK / PLASMA TECHNOLOGY V8-G-AUTO #9401257 à vendre en France
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ID: 9401257
Style Vintage: 2013
Plasma system
Protection class: IP 40
Generator: 2.45 GHz Micro Wave
LEYBOLD Trivac LSS40-65 Vacuum pump
Chamber dimension:
Width: 260 mm
Height: 150 mm
Depth: 280 mm
Volume: ~11 liters
Compressed air:
Connection: Øa 8 mm
Pressure: >5.5 bar (relative)
Gas supplies:
Oxygen (O2)
Connection: Tube Øa 6 mm
Feed pressure (relative):
Minimum: 2 bar
Maximum: 6 bar
Lot:
Maximum: 1000 ml
Minimum: 5 bar
Nitrogen (N2)
Connection: Tube Øa 6 mm
Feed pressure (relative):
Minimum: 2 bar
Maximum: 6 bar
Lot:
Maximum: 50 ml
Minimum: 5 bar
Pressure measurement: 1000 - 0.1 Pa
Vacuum pump speed: 65 m³/hour
Pump exhaust air connection: Øi = 50 mm
Noise emission: 70 dB (A)
Electrical connection: (3) 230/400 V, 50/60 Hz, N/PE
Connected load: 3.3 kVA
MW Power: 600 Watts (Max)
2013 vintage.
PINK/PLASMA TECHNOLOGY V8-G-AUTO est un graveur/asher de plaquettes automatisé et haute performance conçu pour traiter un large éventail de matériaux avec précision, rapidité et précision. L'équipement se compose de deux chambres primaires - l'une avec plasma ionique réactif haute densité, et l'autre une chambre à vide avec un orifice de vue monté latéral. Le système utilise une unité de serrage sous vide à base de mandrin pour maintenir la plaquette en place de façon sécuritaire pendant le traitement, et peut accueillir une gamme de types de plaquettes de 4 pouces à 6 pouces de diamètre. PINK V8-G-AUTO utilise un plasma ionique réactif à haute densité, créé par couplage d'une source de plasma standard avec une alimentation RF. Cette combinaison de source de plasma et d'alimentation RF permet une modulation précise du processus de gravure des plaquettes. La machine peut efficacement graver un large éventail de matériaux, tels que le silicium, le quartz, la céramique et l'oxyde de silicium polycristallin. Les gaz entrants - tels que l'azote (N2) ou l'argon (Ar) - sont précisément dosés et canalisés à travers la chambre de plasma, où ils sont alimentés et forment un plasma. Les ions réactifs au sein de ce plasma interagissent alors avec la plaquette, délivrant des vitesses de gravure élevées sur un large éventail de types de matériaux. Des paramètres plasmatiques réglables, tels que la RF et la puissance de polarisation, permettent à l'utilisateur de contrôler le processus de gravure, ce qui permet une variation des imageans de fonctionnalité grâce à un contrôle délicat de l'énergie ionique et du taux de gravure. La plaquette est montée sur une table de mandrin de plaquette, qui peut être serrée solidement en place et offre une rotation manuelle ou pilotée par ordinateur lors de la gravure. La température à l'intérieur de la chambre à vide est réglable, favorisant une gravure uniforme sur toute la surface de la plaquette. PLASMA TECHNOLOGY V8-G-AUTO offre une excellente répétabilité et un excellent contrôle des processus avec plusieurs cycles de gravure qui peuvent être programmés par lots. L'outil comprend une surveillance avancée des processus en temps réel, avec des diagnostics d'actifs intégrés et des paramètres sélectionnables par logiciel pour la programmation détaillée des processus. De plus, le modèle intègre l'expédition automatisée, le chargement du matériel et le déchargement des plaquettes afin de faciliter une gravure uniforme. Il nécessite des connexions électriques standard, est compatible avec les pratiques de la salle blanche standard et répond aux règles de sécurité actuelles. V8-G-AUTO offre une excellente performance et efficacité dans la gravure et l'ashing d'une grande variété de matériaux, le rendant bien adapté pour le traitement de surface précis des composants semi-conducteurs. La manipulation précise du plasma ionique et sa capacité à programmer et contrôler précisément le processus de gravure en font un outil précieux pour des applications de traitement de surface de haute qualité.
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