Occasion PLASMA ETCH MK-II-1 #9187172 à vendre en France
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ID: 9187172
Style Vintage: 2005
Plasma cleaner / Etcher
Electrode configuration, Horizontal planar: 8 Levels
Process temperature control: 125°F to 300°F ±5°F
R.F Generator & automatching network: 2000 Watts@13.56 MHz
Mass flow controller (2 Channels): 0-2000 CC/min
Vacuum gauge, capacitance monometer: 0-10 Torr
Touchscreen control system included
Vacuum pump, multiple stage, oxygen service: 355 / 30 CFM
Chilled water recirculate, closed loop : 20°C ±0.5°C
2005 vintage.
PLASMA ETCH MK-II-1 est un graveur/asher conçu pour la gravure de précision, le recuit ou le traitement de surface de substrats utilisés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Cet etcher est capable de créer une grande variété de motifs à haute résolution dans une variété de matériaux. C'est un outil polyvalent pour une grande variété de techniques d'enlèvement de matériaux. Au cœur de MK-II-1 se trouve une puissante source de radiofréquence à couplage inductif (RF) qui a une puissance réglable jusqu'à 5000 watts. Cette source RF est couplée à une chambre élaborée, dont les parties principales sont une paire d'électrodes supérieure et inférieure et un pont avec étagères réglables, qui constituent la zone de traitement. La zone de traitement est équipée d'une entrée de gaz isolants, de sorties d'échappement de gaz, d'un obturateur automatique et d'un ensemble support pour le matériau du substrat. En plus de la source RF inductivement couplée, PLASMA ETCH MK-II-1 dispose également d'un réseau adapté, qui aide à obtenir une puissance de sortie constante pendant le fonctionnement. Il comprend également un équipement à débit de gaz variable pour assurer l'acheminement rapide et efficace des gaz réactifs dans la zone de traitement. Ce système est composé d'un côté à haute pression pour le refoulement des gaz secs et d'un côté à basse pression pour le refoulement des liquides. MK-II-1 comprend également un certain nombre de fonctionnalités conviviales. Son interface GUI est facile à apprendre et à utiliser, et il est programmable avec une variété de recettes pour la gravure, le recuit et les traitements de surface. Il offre également une unité de gravure tridimensionnelle qui permet une gravure précise des motifs sur des surfaces non planes. PLASMA ETCH MK-II-1 présente un certain nombre de caractéristiques de sécurité telles qu'une machine d'entretoisement de porte qui empêche l'ouverture de la porte pendant que la puissance RF est active, et une chambre à la masse pour contenir la charge électrostatique qui s'accumule pendant le fonctionnement. Il comprend également un outil d'alarme et un dispositif de protection de la température qui surveille et contrôle la température dans la chambre RF. Enfin, MK-II-1 est un modèle très durable. Ses composants sont construits en acier inoxydable qui assure qu'ils résisteront aux conditions dures du processus de gravure. L'équipement a également une longue durée de vie sans pratiquement aucun entretien requis. Grâce à l'excellence des performances et de la fiabilité, PLASMA ETCH MK-II-1 est le choix idéal pour de nombreuses applications de gravure et de traitement de surface.
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