Occasion PLASMA ETCH MK-II #293610079 à vendre en France
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PLASMA ETCH MK-II est un cendrier/graveur de pointe conçu pour effectuer une gravure de haute précision et un cendrage de divers matériaux de couches minces au niveau submicronique. Cette machine est équipée d'un puissant ejaculateur Digital Micrometer-Controlled Ejaculator (DMCE) pour le réglage précis des paramètres ioniques, permettant des résultats gravés avec une précision et une répétabilité élevées. Le DMCE comprend également une fonction d'auto-détection qui permet à l'utilisateur d'ajuster automatiquement la pression de gaz du processus de gravure/ashing. PLASMA ETCH MKII est conçu avec un grand panier pour contenir toutes les tailles de substrats jusqu'à 19,69 pouces (500 mm) de diamètre. La chambre comprend des systèmes de gaz pour deux sources de gaz distinctes, telles que l'hydrogène et l'argon, qui peuvent être utilisés ensemble pour la gravure et l'ashing. L'opérateur peut choisir parmi les paramètres de gravure de processus programmables par l'utilisateur comme la puissance, la fréquence de pulsation et le tpm, entre autres, pour chaque chambre et source de gaz. L'asher/etcher est également équipé d'un moniteur en ligne à cristaux de quartz pour mesurer le plasma généré lors de la gravure. MK-II assure le contrôle thermique automatique de la chambre de procédé et des substrats, de sorte que chacun peut être maintenu à une température constante. Il comprend également une boîte de protection RF pour réduire les interférences RF et réduire la contamination plasmatique. L'asher/etcher est équipé d'un système de vide avec une gamme de 0,1-2000 torr et capable d'un taux de vide pouvant atteindre 20 torr/seconde. De plus, un système d'échappement automatique permet un nettoyage rapide et pratique des sous-produits. MKII est un outil idéal pour la micro-fabrication, la gravure et l'ashing de matériaux à couches minces. Il offre une excellente répétabilité pour la gravure de haute précision et peut traiter n'importe quel type de substrat, du simple côté au double côté. La machine dispose d'un ensemble étendu de paramètres de processus programmables par l'utilisateur et d'une interface LCD simple pour une configuration et un fonctionnement faciles. Le moniteur à cristaux de quartz en ligne permet un réglage précis des paramètres ioniques pour des résultats fiables, et le système d'échappement automatique pratique assure un temps de nettoyage minimal. Le design robuste et les fonctionnalités avancées assurent d'excellentes performances de gravure et de cendrage, ce qui fait de cet graveur un excellent choix pour ceux qui recherchent des résultats fiables et reproductibles.
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