Occasion PLASMA ETCH PE-100 #9402380 à vendre en France

PLASMA ETCH PE-100 est une unité de traitement automatique de gravure et de cendrage conçue pour fournir une précision et une répétabilité élevées dans les processus de gravure et de cendrage. Il est configuré avec trois chambres de traitement et une interface de contrôle tactile conviviale. L'objectif principal de l'ETCH PE-100 est de fournir un procédé de gravure et d'ashing haut de gamme, efficace, économique et fiable pour la fabrication de plaquettes dans l'industrie des semi-conducteurs. En outre, il est équipé d'un puissant système de contrôle qui assure une précision et une répétabilité accrues lors des processus de gravure et de cueillette. L'état de la plaquette pendant le processus de gravure déterminera le degré de gravure et si le processus sera arrêté ou poursuivi. Ceci est surveillé de façon continue et précise avec l'unique « Wafer Smoothness Analyzer » intégré dans l'unité ETCH PLASMA ETCH PE-100. Ce dispositif de pointe est capable de mesurer en permanence l'homogénéité et la rugosité de surface de la plaquette lors de sa gravure. Le fonctionnement ashing d'ETCH PE-100 offre également fiabilité et répétabilité. Le plasma asher traite la plaquette avec un plasma à haute température pour éliminer rapidement et efficacement les résidus à base de polymère. Ceci est essentiel dans la fabrication de particules ultra-fines, de nano-particules et d'autres composants avancés de produits microélectroniques dans l'industrie des semi-conducteurs. La température élevée créée par le procédé PLASMA ETCH peut être régulée avec précision et de façon répétée en veillant à ce que les échantillons subissent une gravure ou une cendre uniforme. L'externalisation de la puissance est réglable pour des cycles répétés plus rapides et le « Contrôle de température en temps réel » assure le maintien de températures précises et stables. L'ETCH PLASMA ETCH PE-100 offre également des autodiagnostics automatisés élevés, qui permettent un haut degré de maintenance préventive, offrant un moyen intelligent de réduire la maintenance et d'améliorer le temps de performance, ainsi que le contrôle des performances opérationnelles pour des processus cohérents. D'autres caractéristiques de l'ETCH PE-100 comprennent des recettes sélectionnables pour différents niveaux de gravure et de cendrage selon les exigences spécifiques, le mode cellulaire pour connecter plusieurs unités de traitement, et un ensemble complet d'articles consommables pour assurer le traitement des plaquettes haute performance.