Occasion PLASMA ETCH PE-200 #293778285 à vendre en France

PLASMA ETCH PE-200 est une source de tablettes capable de fournir des applications de gravure et de cendrage impeccables pour un large éventail de matériaux. Cet instrument précis utilise une combinaison de décharge électrique et de gaz inerte pour assurer une élimination cohérente des matériaux avec une exposition à la chaleur minimale et aucun choc thermique pour les substrats fragiles. Au cœur de PE-200 se trouvent trois systèmes indépendants et solidaires - le module de gravure, le module de pompe et le module d'alimentation en gaz. Le module de gravure se compose d'une vanne de détente, d'une source magnétron, d'inducteurs personnalisés adaptés aux différentes configurations de fonctionnement, et d'une chambre à plasma basse tension pour une génération de plasma uniforme. Les inducteurs personnalisés permettent un transfert d'énergie efficace du magnétron vers le substrat et assurent des vitesses de gravure constantes. Le module de pompe dispose d'une pompe turbomoléculaire avec un réservoir de retenue pour le gaz, des sas et différentes jauges de vide. Cela aide à maintenir l'intégrité du système lors du changement ou de l'ajout de gaz. De plus, le module d'alimentation en gaz comporte des soupapes d'arrêt, des alimentations en gaz collecteur et porteur et des régulateurs de pression neutres. D'autres caractéristiques de PLASMA ETCH PE-200 incluent des capacités de vitesse de gravure élevée, des vitesses de pompage rapides et un fonctionnement à température ambiante proche. En conséquence, le système offre une gravure à faible coût par plaquette avec précision et répétabilité. En tant que tel, il peut être utilisé pour des applications de gravure sèche, de cendrage et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) sur divers matériaux tels que le silicium, le nitrure de silicium, le tungstène, l'aluminium et d'autres métaux. En outre, PE-200 a une conception de sécurité intégrée avec circuit d'arrêt d'urgence, un système de contrôle de pression automatique, et des essais d'auto-performance. Cela permet de minimiser les accidents, les dysfonctionnements et les temps d'arrêt. Il a également une fonction de lecture de film qui peut être utilisé pour vérifier l'historique de l'opération en lisant le film enregistré pendant le processus. PLASMA ETCH PE-200 est également conforme aux normes SEMI S2, qui fournit un environnement de fonctionnement sûr et conforme pour l'utilisateur. Dans l'ensemble, PE-200 est une source de tablette avancée qui offre des applications de gravure et d'ashing précises avec une reproductibilité et une fiabilité exceptionnelles. Sa puissante combinaison de gravure de précision et de cendrage avec un fonctionnement rapide et sûr, font de cet outil un ajout inestimable à tout laboratoire de R-D ou installation de fabrication.