Occasion PLASMA SYSTEMS AMN 3000 #9221265 à vendre en France
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SYSTÈMES PLASMA AMN 3000 est une machine de gravure et de cueillette automatisée de grande puissance pour la gravure et la cueillette précises de divers substrats. C'est l'un des systèmes de gravure et d'ashing les plus avancés disponibles sur le marché, et il est capable de manipuler une variété de matériaux, y compris les métaux, le SiO2, les semi-conducteurs et les polymères. La machine fournit un procédé de gravure et de cueillette de haute qualité à un rythme très rapide, avec une répétabilité ± 0,1 μ m. L'équipement dispose d'une chambre de verrouillage de charge avec une chambre de processus au-dessus, enfermée dans un environnement sous vide. La chambre de procédé est pressurisée et peut être réglée entre 0,1 et 500 mbar. A l'intérieur de la chambre de procédé se trouve un système d'injection de gaz qui permet un mélange précis de gaz de gravure et de gaz de cueillette. L'unité est capable d'injecter jusqu'à 2000 centimètres cubes standard par minute (SCCM) de gaz de gravure/ashing. Un filtre électromagnétique (EMF) est également installé dans la machine pour filtrer les débris et minimiser la contamination de l'outil. AMN 3000 est alimenté par un actif informatique embarqué avancé, qui contient toutes les capacités nécessaires d'enregistrement des données et de contrôle de la machine, et est programmable via une interface utilisateur intuitive. Le modèle comprend également des logiciels pour contrôler entièrement automatiquement le processus de gravure et d'ashing, ainsi que pour améliorer le profil de gravure. Dans le cadre du logiciel d'optimisation des processus, l'équipement est capable de surveiller et d'ajuster continuellement les processus de gravure et d'ashing afin d'obtenir les meilleurs résultats possibles. Outre les caractéristiques mentionnées ci-dessus, PLASMA SYSTEMS AMN 3000 comprend également un panneau d'affichage graphique. Ce panneau dispose d'un moniteur LCD couleur, fournissant à l'opérateur des représentations graphiques des processus de gravure et d'ashing, permettant une meilleure surveillance et un meilleur contrôle de la machine. AMN 3000 est un système polyvalent et fiable conçu pour traiter une variété de matériaux et de procédés de gravure. Avec ses fonctionnalités et capacités avancées, il est la solution idéale pour toutes les exigences de gravure ou d'ashing.
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