Occasion PLASMATHERM 700 VLR (Versalock) #9123991 à vendre en France

ID: 9123991
Taille de la plaquette: 8'
Style Vintage: 1995
PECVD system, 8" (1) LM/TM module (2) PECVD module (5) MKS Mass flow controllers RFPP-RF5S RF Power supply Leybold dryvac 50P Plasmatherm operating software 208V, 60Hz, 3 phase 1995 vintage.
PLASMATHERM 700 VLR (Versalock) est un graveur à plasma haute performance conçu pour une grande variété d'applications et de matériaux semi-conducteurs, y compris les métaux et les diélectriques. Il est capable de graver des zones jusqu'à 350 μ m pour la production de dispositifs exigeants. L'équipement Versalock utilise un mécanisme de pression de vide et de gaz qui peut être ajusté avec précision aux paramètres exacts nécessaires au processus. PLASMATHERM 700 VLR dispose d'une chambre de traitement PCX exclusive avec système de contrôle du débit de gaz optimisé. Cette unité offre une uniformité de gravure supérieure à celle des systèmes de gravure plasma plus classiques. Le Versalock dispose également d'un contrôle automatique en temps réel de la température de gravure, d'une compensation de coupure de ligne, d'une adaptation de la tension de sortie et d'une machine brevetée d'injection de gaz. Cet outil élimine le besoin de régulateurs de débit externes et verrouille instantanément les débits. PLASMATHERM 700 VLR dispose également d'un système automatisé de chauffage et de refroidissement qui tire parti des propriétés des plaques non thermiques refroidies par le gaz. Cela a permis au modèle de contrôler précisément le taux de gravure des conceptions de puces à un niveau et à plusieurs niveaux. Le Versalock est particulièrement adapté pour la gravure de petites caractéristiques de structures à haut rapport d'aspect sans arête arrondie ou effilée de flanc. L'équipement est également capable de produire des canaux allant de 200nm à 500nm avec une faible rugosité et des parois latérales verticales. Il peut être utilisé pour les concepts de gravure simple sobek et cascade. Le Versalock dispose également d'un système intégré de neutralisation en charge, qui élimine l'accumulation d'impuretés dans la chambre pendant le processus de gravure. PLASMATHERM 700 VLR offre une variété de caractéristiques de sécurité telles que la protection contre la surtension, la protection contre les surintensités, le contrôle de la pression de la chambre et le verrouillage 3D. Son couvercle de confinement améliore encore la sécurité en évitant les réactions dangereuses pendant le fonctionnement de la machine. Le Versalock dispose également d'une interface utilisateur graphique facile à utiliser qui permet à l'opérateur d'ajuster facilement les paramètres du processus de gravure. En conclusion, PLASMATHERM 700 VLR (Versalock) est un outil de gravure avancé conçu pour une variété d'applications et de matériaux. Il dispose d'une interface utilisateur graphique facile à utiliser, d'un système breveté d'injection de gaz et d'un modèle automatisé de chauffage et de refroidissement. Avec sa gamme de caractéristiques de sécurité et ses capacités de gravure précises, le Versalock est une solution idéale pour une variété d'applications de semi-conducteurs exigeantes.
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