Occasion PLASMATHERM 700 VLR (Versalock) #9293223 à vendre en France
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ID: 9293223
Style Vintage: 1997
PECVD system
LM/TM module
(2) RIE Modules
(5) MKS Mass Flow Controllers
RFPP-RF5S RF Power supply
LEYBOLD Dryvac 50P
208V, 60Hz, 3 Phase
1997 vintage.
PLASMATHERM 700 VLR (Versalock) est un graveur/asher robuste et fiable conçu pour un traitement avancé de haute précision dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est équipé de la technologie la plus récente, comme le système de régulation de température multiple, pour garantir des processus reproductibles et traçables qui produisent des résultats supérieurs. L'etcher/asher emploie cinq zones de température indépendantes, chacune avec son propre contrôleur numérique indépendant. Cela garantit un contrôle précis de la température et des propriétés thermiques précises sur l'horizon de la micro-structure. PLASMATHERM 700 VLR dispose également d'un puissant mécanisme de verrouillage activé magnétiquement. Cela garantit que le système de chargement et la chambre de traitement restent bien verrouillés, ce qui permet un fonctionnement sûr et stable. La fonctionnalité Versalock offre également un processus fiable et reproductible sans nécessité de réinitialisation ou de réglage manuel. PLASMATHERM 700 VLR utilise une pompe mécanique à deux étages pour assurer un traitement à faible dissipation et à faible turbulence. Les conditions de consommation ultra-basses réduisent les coûts de gravure et de matériaux, ce qui permet d'améliorer le rapport coût-efficacité. En termes de sécurité, PLASMATHERM 700 VLR a été équipé à la fois d'un verrouillage mécanique et d'un dispositif d'étanchéité du procédé. Ce dernier permet aux opérateurs de travailler en toute sécurité à huis clos, offrant ainsi un environnement sûr à leur personnel. PLASMATHERM 700 VLR dispose également d'un système d'interface graphique convivial, permettant aux opérateurs de suivre et de contrôler l'avancement de la gravure. Avec une variété de recettes prédéfinies, l'utilisateur peut effectuer plusieurs processus de gravure sans intervention manuelle. Dans l'ensemble, sa technologie de pointe, sa conception robuste et son interface conviviale font de PLASMATHERM 700 VLR un excellent choix pour la gravure et le cendrage des semi-conducteurs. Ce graveur/asher offre une meilleure productivité, fiabilité, et un coût minimal de consommables.
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