Occasion PLASMATHERM 7200 #9124185 à vendre en France
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ID: 9124185
Style Vintage: 1991
Large batch chamber
RIE Electropolish the stainless steel
lower electrode powered: 30-32"
Shower head height
(5) Brooks 5850e MFCs
BCl3 process for backside via etching of GaAs wafer
RF20F power supply with matching network
Leybold 360 turbo with controller
Edwards EM40 with 250 blower
Upgraded to PC controller
1991 vintage.
PLASMATHERM 7200 est un équipement de pointe de gravure/asher conçu pour fournir aux utilisateurs précision et rapidité de traitement à haut débit. Le système est adapté à différents types d'opérations de gravure telles que la gravure de matériaux PCB, la gravure de photomasques et la fabrication de MEMS. 7200 utilise une alimentation haute fréquence à courant élevé pour obtenir des résultats précis et reproductibles. Il dispose d'une torche à plasma en ligne, qui offre un meilleur contrôle du processus et la fiabilité. La torche est fournie avec un ensemble de buses spécialement conçues pour des performances optimales et la latitude du processus. L'unité dispose également d'une chambre escamotable, qui permet un accès facile à la pièce et minimise la contamination. La machine est capable de réaliser une grande variété de techniques de gravure à des vitesses élevées. Sa configuration en cassette et porte-plaquettes permet une gravure sans contact et une résistance précise à l'immobilisation. En outre, son logiciel de contrôle des processus assure la répétabilité et la précision même lorsqu'il s'agit de substrats vulnérables. L'outil est également hautement personnalisable, avec une gamme de pièces et accessoires en option disponibles, tels que des porte-masques, lames de dédicace, des supports spéciaux, et des buses supplémentaires. Il est également compatible avec une variété de gaz tels que SF6, O2, SF4 et H2. PLASMATHERM 7200 est un atout robuste et fiable avec une large gamme de capacités. Ses fonctionnalités avancées et son logiciel de contrôle permettent aux utilisateurs de réaliser rapidement des gravures rapides et précises. L'architecture basée sur le module du modèle permet des mises à niveau futures, assurant que l'équipement reste à jour avec les dernières avancées technologiques.
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