Occasion PLASMATHERM 7300PE #9042738 à vendre en France
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ID: 9042738
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
PECVD System, 8"
Main frame
Transformer
Power supply
M-405-V-AC Unit
(4) Cartons
1996 vintage.
PLASMATHERM 7300PE est un système de gravure/ashing avancé conçu pour les marchés industriels et de la recherche. L'unité dispose de plages de température programmables (450-600 ° C) et d'un chauffage infrarouge et hyperfréquence indépendant, permettant un contrôle précis des paramètres de traitement des échantillons. En outre, la section de chauffage collecteur et le générateur RF sont entraînés indépendamment pour une alimentation optimale de la source et l'équilibre de la pression de travail. Le système est adapté à la gravure/cueillette d'une gamme de matériaux dont le silicium, l'arséniure de gallium et les revêtements de carbone diamant (DLC). Il utilise la technologie UPEC (Universal Parallel Etch Control) pour permettre des vitesses de gravure et une répétabilité optimales. Cette technologie suit la vitesse de gravure pendant le processus et contrôle le flux de la chimie en conséquence pour des résultats cohérents. 7300PE est équipé de divers dispositifs de sécurité, y compris des soupapes automatiques d'arrêt du collecteur, un interrupteur de décharge de source motorisé et des moniteurs d'oxygène. Les commandes numériques sont conviviales, permettant un fonctionnement à distance et une gravure sans surveillance. De plus, un programme de collecte de données permet aux utilisateurs de surveiller les débits chimiques, les températures, les pressions et d'autres paramètres de processus. PLASMATHERM 7300PE combine des vitesses de gravure de transfert élevées et un contrôle fiable des processus, ce qui en fait une solution idéale pour les applications industrielles et de recherche. L'unité est conçue pour être facile à installer, à utiliser et à entretenir. De plus, sa construction résistante à la corrosion le rend robuste, durable et adapté à des environnements difficiles. Ses caractéristiques avancées et ses performances supérieures en font le choix idéal pour une gravure/cueillette précise et hautement fiable.
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