Occasion PLASMATHERM 770 ICP #9156681 à vendre en France

PLASMATHERM 770 ICP est un équipement de gravure et d'ashing avancé de PLASMATHERM. Il offre des performances de gravure et de cendrage supérieures et comprend une gamme de caractéristiques conçues pour assurer une précision et une fiabilité uniformes. Le système dispose d'une source d'énergie électrique avancée offrant une haute densité d'ionisation, des profils de gravure uniformes et une stabilité accrue du procédé. La source d'énergie à commutation rapide offre une flexibilité avec différentes capacités et longueurs d'impulsions disponibles. Ceci permet d'optimiser la vitesse de gravure pour un procédé donné. Il permet également de régler la puissance de sortie pour chaque procédure de gravure, pour obtenir le meilleur profil de processus et la répétabilité pour l'ensemble du lot. Le PCI 770 comprend également une chambre intégrée unique en céramique à deux zones, qui permet de graver et d'aspirer en une seule unité. La chambre à gaz de procédé est exploitée avec de l'azote, de l'oxygène et d'autres gaz réactifs permettant la gravure et la cueillette de divers matériaux. La serrure ouverte intégrée assure un chargement et un déchargement faciles des plaquettes sans introduire de contamination supplémentaire. Les serrures de chargement peuvent être facilement accessibles des deux côtés de la chambre pour le chargement des échantillons. L'unité comprend des commandes avancées permettant une surveillance précise du processus et un contrôle thermique automatique. Une sonde thermoélectrique très sensible mesure la température de la plaquette pendant le traitement du plasma. L'homogénéité du procédé est en outre contrôlée par le pyromètre infrarouge. Le logiciel comprend également une interface utilisateur axée sur la recette permettant de sélectionner facilement les paramètres du processus. L'interface graphique intuitive apporte un contrôle du processus auto-explicatif à l'utilisateur. Il comprend des affichages conviviaux, graphiques et textuels pour guider l'opérateur dans le processus de sélection des configurations et des recettes. Il offre des avertissements de sécurité automatiques et communique clairement les erreurs de traitement. PLASMATHERM 770 ICP est la machine idéale pour la gravure et le cendrage et offre une fiabilité et une précision supérieures. Ses fonctionnalités matérielles et logicielles intégrées garantissent que tout processus peut être exécuté à la meilleure qualité et répétabilité.