Occasion PLASMATHERM 770 ICP #9156791 à vendre en France

Fabricant
PLASMATHERM
Modèle
770 ICP
ID: 9156791
Taille de la plaquette: 1"-8"
Style Vintage: 1997
Plasma etcher, 1"-8" Load lock shuttle lock transfer Single chamber ICP RFPP–RF5S RF Power supply w/AM5 Six zone heater VAT PM5 Pressure controller RF10M w/phase Model 919 Hot cathode controller (6) MFCs-gas 1997 vintage.
PLASMATHERM 770 ICP est un équipement de graveur/asher qui permet la production rapide, fiable et économique de produits semi-conducteurs avancés. Le système fonctionne en combinant le traitement plasma basse pression, les systèmes d'admission de gaz de haute précision et le contrôle numérique de la température pour permettre des résultats précis et reproductibles. Il est capable d'atteindre des résolutions adressables de 10um et dispose d'un large éventail de paramètres de processus et de capacités, le rendant adapté à la fois pour la production et les applications de recherche. 770 L'unité ICP etcher/asher peut être utilisée pour des applications de gravure de plaquettes et non de plaquettes, y compris le silicium, les films organiques, la céramique, le verre, le dépôt sous vide et le MEMS. Avec son procédé plasma basse pression et ses sources plasma haute tension/basse puissance, il est conçu pour atteindre l'uniformité de gravure souhaitée avec un minimum de dommages matériels et de contamination. Cela le rend idéal pour toute une gamme d'applications, telles que la gravure de la grille, par gravure, gravure des ailettes, et de résister au dénudage, ainsi que le nettoyage ambiant et la pulvérisation. La machine est équipée d'un outil d'entrée de gaz de haute précision qui comprend jusqu'à trois conduites de gaz et un régulateur de pression intégré. Il est également équipé d'un régulateur de température numérique, permettant un contrôle précis et répétable de la température. Ceci permet d'obtenir et de maintenir les conditions de gravure souhaitées. PLASMATHERM 770 ICP etcher/asher actif est facile à utiliser et à entretenir grâce à son design simple et intuitif. Il dispose d'une interface graphique intuitive, permettant aux utilisateurs de programmer et de contrôler rapidement les processus de gravure. Le modèle comprend également des dispositifs de sécurité intégrés pour prévenir les dommages accidentels et la contamination, ainsi qu'une installation de télécommande pour un fonctionnement facile à distance. 770 L'équipement ICP etcher/asher représente la technologie de gravure ultime, permettant une production rapide, fiable et économique de produits semi-conducteurs avancés. C'est un choix idéal pour les fabricants et les centres de recherche à la recherche d'une solution de gravure avancée.
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