Occasion PLASMATHERM 790 Series #293763506 à vendre en France
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ID: 293763506
Taille de la plaquette: 6"
Reactive Ion Etcher (RIE), 6"
TPH 240 Turbo pump.
PLASMATHERM Série 790 est un équipement de gravure et d'ashing avancé conçu pour répondre aux exigences les plus exigeantes de la production et des applications de recherche. Il combine des gaz réactifs à jet d'hélium rapide avec des alésages d'énergie RF haute fréquence pour fournir un processus de gravure précis. Il dispose d'une plate-forme de maintenance basse et d'une chambre de gravure de gaz supérieure qui en fait un excellent choix pour diverses applications de haute précision dans l'industrie électronique. 790 Series est un système multi-applications qui prend en charge les applications de gravure ionique réactive (RIE) et de gravure ionique réactive profonde (DRIE). Il comprend une unité manuelle d'ascension et de descente qui fournit un chargement d'échantillon facile et pratique, et un champ électrique réglable agissant sur la chambre de gravure pour un contrôle supérieur de l'uniformité de gravure. Le contrôleur de PLASMATHERM 790 Series est basé sur un logiciel GSD qui assure un contrôle précis des paramètres du processus. Il a un grand écran graphique qui le rend facile à utiliser la machine. L'interface utilisateur intuitive permet à l'utilisateur d'ajuster facilement les paramètres en fonction des besoins de son application. L'outil est conçu pour un contrôle stellaire de la température et une atmosphère améliorée afin d'atteindre une qualité de gravure et une résolution élevées. Il utilise un actif de remplacement rapide du gaz qui purge la chambre de gravure avec du gaz frais riche en hélium. Le 790 offre également une large gamme d'alimentations RF haute puissance configurables, qui peuvent fournir jusqu'à dix kilowatts de puissance. Le modèle de contrôle numérique avancé fournit un contrôle précis des paramètres de gravure tels que la pression, le débit et la température de l'échantillon, assurant les niveaux les plus élevés de précision de gravure. Le contrôleur assure également un contrôle précis du champ électrique sur la chambre de gravure, permettant à l'utilisateur d'ajuster le champ électrique en fonction de leur application 790 Series offre toutes les fonctionnalités nécessaires pour répondre aux applications de gravure et d'ashing les plus exigeantes dans l'industrie électronique. Sa construction robuste, son équipement de contrôle avancé et sa chambre supérieure de gravure de gaz en font un choix fiable et efficace pour diverses applications de haute précision.
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