Occasion PLASMATHERM 790 Series #9382215 à vendre en France

ID: 9382215
Reactive Ion Etcher (RIE) / PECVD System.
PLASMATHERM Série 790 est un équipement de graveur et asher sophistiqué conçu pour une large gamme d'applications en nanotechnologie. Sa combinaison unique de contrôle des processus, d'économie des ressources et d'efficacité énergétique en fait l'appareil idéal pour les opérations de gravure et de cendrage de haute précision. La série 790 dispose d'une source de plasma pour générer un plasma hautement contrôlable et de haute pureté pour la gravure et la cueillette des substrats. PLASMATHERM Série 790 intègre une gamme de paramètres précis de contrôle du processus pour permettre le contrôle précis des paramètres plasmatiques, y compris la puissance, le taux d'impulsion, la largeur d'impulsion, le temps de gravure, la profondeur de gravure, le temps de cueillette, la profondeur de cueillette, le débit de réactif et le taux d'injection. Ce contrôle combiné avec le niveau de vide ultra bas du système de 10-2 mBarr., et une séquence propre extrêmement courte de seulement 3 minutes le rendent idéal pour les applications à haut débit. La série 790 est conçue pour être très efficace et économiser les ressources. Il est alimenté par une alimentation basse tension et dispose de fonctionnalités avancées d'économie d'énergie. L'unité de contrôle PLC de pointe offre un contrôle optimisé du processus et un contrôle précis des paramètres du processus. L'interface PLC est conviviale, et l'opération graphique permet une configuration rapide du processus. La sécurité est une priorité absolue. PLASMATHERM Série 790 fournit une machine avancée de détection d'incendie et de fumée et un arrêt d'urgence à distance. L'outil est fourni avec un couvercle articulé équipé d'un interrupteur de contact pour la sécurité de l'opérateur. La détection de température infrarouge est également mise en œuvre pour la surveillance et le contrôle des processus. 790 Series dispose d'une large gamme d'options de processus et de contrôle, ce qui en fait un appareil idéal pour une variété de besoins des utilisateurs. Ses atouts diagnostiques intégrés et ses vastes capacités d'E/S permettent une intégration facile dans les lignes de production, de fabrication et de laboratoire existantes. Ce modèle convivial est compatible avec une variété de substrats.
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