Occasion PLASMATHERM 790 #9113757 à vendre en France

PLASMATHERM 790 etcher/asher est un procédé double, entièrement automatisé de gravure et d'ashing plasma pour la fabrication de composants microélectroniques sur plaquettes. Il offre flexibilité et fiabilité dans l'exécution à la fois gravure arrière et ashing applications. La technologie avancée de retour de gravure utilise une source de plasma haute pression, fournissant une grande uniformité de processus sur la plaquette en fournissant un volume de plasma uniforme sur toute la surface de la plaquette. La machine fournit également une gamme complète de paramètres de gravure, avec une large gamme de combinaisons de gaz et de régimes de pression pour des résultats de gravure optimaux. Le procédé de gravure arrière est adapté à des applications telles que RIE, dans lesquelles la sélectivité entre les différents matériaux est importante. La commande automatique de la source assure en outre une excellente uniformité. La cendre propre en cours de fabrication est également fournie avec la même haute efficacité et l'uniformité que pour le processus de gravure arrière. La propriété Plasma Ashing (PA), tirant parti de la technologie plasma basse pression moderne, fournit une vaporisation thermique-plasma hétérogène de matériaux organiques et inorganiques agressifs. Le procédé de cendrage par plasma thermique assure la gravure propre d'un large éventail de matériaux - des diélectriques épais aux métaux nobles. Le système est équipé de régulateurs de débit multi-gaz, offrant la possibilité d'utiliser facilement des mélanges de gaz réactifs. Des interactions complètes avec la chambre de verrouillage de charge, le robot et le substrat, assurent un fonctionnement sûr, et le logiciel de contrôle de processus est intuitif et facile à utiliser pour l'initialisation et le développement de processus. Un système avancé de détection du point d'extrémité est intégré au procédé, qui mesure une réflexion et/ou une tension de substrat spécifique d'un échantillon. Ces paramètres optiques permettent une surveillance complète du procédé tout au long du processus. Le système est disponible avec une sélection de configurations, toutes compatibles avec les robots de manutention des plaquettes avant/arrière. En résumé, 790 graveur/asher offre une excellente homogénéité, flexibilité et répétabilité des processus, ainsi qu'une reconnaissance automatique des paramètres, conduisant au meilleur rapport coût-efficacité pour la fabrication de composants microélectroniques.