Occasion PLASMATHERM 790 #9124022 à vendre en France
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ID: 9124022
Taille de la plaquette: 2"-6"
Style Vintage: 1993
PECVD Deposition system, 2"-6"
PC OS controlled
8" Electrode
Advanced Energy RFPP - RF5S power supply
Gas panel: 5 MFCs- N2, SiH4, NH3, N2, CF4
NESLAB RTE III Chiller
Power supply: 208 V, 3 Phase, 60 Hz
1993 vintage.
PLASMATHERM 790 est un graveur/asher de haute précision conçu pour diverses applications de R&D et de production. Il est équipé d'une source de plasma puissante, stable et précise avec une efficacité de sélectivité élevée optimale. L'équipement utilise une technologie de plasma micro-ondes de pointe pour obtenir une reproductibilité maximale des gravures et des cendres, une précision de procédé et un contrôle de qualité global. 790 utilise une alimentation RF robuste ainsi qu'un système de contrôle laser avancé et un émetteur plasma à haut rendement pour permettre un contrôle précis du processus et un débit sur mesure. Au cœur, cette unité dispose d'un ASI breveté (Atomistic Machine Interface) qui permet de programmer chaque étape de traitement séparément, ce qui permet un traitement complexe et des exigences exigeantes. L'outil offre des processus chronométrés avancés pour l'optimisation des processus qui peuvent être affinés via une variété de paramètres. Il est également équipé d'outils de contrôle avancés qui peuvent aider à atteindre des profondeurs de gravure uniformes et des géométries de processus. De plus, PLASMATHERM 790 comprend des capacités de répétabilité rapides et fiables pour assurer la cohérence des résultats tout au long de la production. L'atout offre de multiples options de processus - telles que la gravure de gaz, la gravure plasma haute et basse pression, la gravure ionique réactive (RIE) et la nanostructuration - qui peuvent être intégrées dans un essai monowafer en utilisant la modélisation CAO avancée, l'animation de modélisation et l'inspection optique intégrée. Le modèle dispose également d'un équipement de vide intégré à deux étages qui fournit un contrôle inégalé sur la source de plasma, donnant au système une excellente polyvalence de processus. En outre, 790 est livré avec des fonctionnalités avancées telles que la surveillance de la température, l'inondation RF, l'évaluation et l'optimisation des processus, et des tests d'acceptation des produits pour assurer la précision et la répétabilité. Avec son logiciel intégré, les utilisateurs peuvent surveiller et analyser les opérations plasma et créer des recettes personnalisées pour des applications spécifiques. L'interface conviviale de l'unité permet un fonctionnement et une configuration simples et intuitifs. Dans l'ensemble, PLASMATHERM 790 est un graveur/asher idéal pour des applications exigeantes. Il offre un processus de gravure/cueillette polyvalent et de haute précision, associé à des capacités de contrôle exceptionnelles. Cette machine est très fiable, répétable et rentable, ce qui en fait une option attrayante pour les entreprises qui cherchent à maintenir leurs lignes de production en bon état de marche.
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