Occasion PLASMATHERM 790 #9156796 à vendre en France
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ID: 9156796
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1999
PECVD Deposition system, 8"
Upper & lower electrode
Advanced Energy RFSS 5S
Lower electrode heated platen with controller
Plasmatherm PC Window based OS
208V, 60Hz, 60A
1999 vintage.
PLASMATHERM 790 est un graveur/asher polyvalent conçu pour une large gamme d'applications de gravure et d'ashing de précision. Équipé d'une chambre à quartz industriel de 24 pouces de long, le 790 fournit un câblage fiable et actif et jusqu'à 400 watts de puissance pour une gravure/cueillette rapide et des résultats de haute qualité. En plus des systèmes de contrôle très avancés et des diagnostics avancés, PLASMATHERM 790 est livré avec un certain nombre de caractéristiques de sécurité, y compris des réglages de pression de gaz réglables, des capteurs de température dynamiques, et une surveillance active de la stabilité thermique. 790 est équipé d'un générateur de plasma intégré pour permettre la gravure/cueillette à grande vitesse. De plus, PLASMATHERM 790 est équipé d'un équipement de purge d'azote pour assurer des quantités uniformes d'oxygène, d'azote et d'autres gaz pendant le processus de gravure/cueillette. Le système dispose de modes d'équilibrage des gaz et de transition pour assurer une pression uniforme tout au long du processus, ainsi qu'un brassage rapide des plaquettes entre les étapes. La 790 dispose également d'une technologie avancée de régulation de la température et comprend une unité de protection active intégrée (APS) pour garantir des conditions de température optimales pendant la gravure/cueillette. L'APS règle automatiquement la température de la chambre et ajuste les niveaux de puissance en conséquence pour maintenir des conditions de température précises tout au long du processus. La vitesse de gravure de PLASMATHERM 790 est précise et cohérente, ce qui la rend idéale pour un large éventail d'applications nécessitant des résultats précis. Il fournit une gamme de profondeurs de gravure de quelques microns jusqu'à quelques centaines de micromètres par minute. En outre, la machine de diagnostic avancée 790 permet aux utilisateurs d'identifier et de dépanner rapidement tout problème avec le processus de gravure/ashing. En résumé, PLASMATHERM 790 est un graveur/asher fiable et performant conçu pour permettre une gravure/ashing précise et répétable d'une large gamme de matériaux. Il fournit jusqu'à 400 watts de puissance et est équipé d'une technologie de contrôle avancée et de diagnostics en temps réel pour assurer des résultats précis. La 790 comporte également des réglages réglables de la pression du gaz et des capteurs de température, ainsi que des systèmes de protection active, afin d'assurer un flux de gaz fiable et uniforme dans la chambre.
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