Occasion PLASMATHERM 790 #9230292 à vendre en France
Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.
Appuyez sur pour zoomer


Vendu
ID: 9230292
Style Vintage: 1993
Dual chamber RIE/PECVD system
Left chamber: RIE
O2, H2, CF4, CH4, SF6, CHF3, Ar
Right chamber: PECVD
N2, N2O, 2% SiH4 in N2, 2% SiH4 in He, NH3, CF4 + O2, He, Ar
Heater: Depositing oxides and Nitrides (250°C - 300°C)
Manual / Automatic mode
RF Generator
Maximum RF power: 500 W
1993 vintage.
PLASMATHERM 790 est un équipement de graveur et asher de pointe utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour être très efficace et précis, fournissant des résultats de gravure de qualité lithographique avec une répétabilité maximale. Le système utilise un contrôle de gravure robuste et une technologie de chambre à vide pour des niveaux de dopage ultra bas et un contrôle de profil contrôlé. 790 est capable d'apporter des améliorations supérieures aux procédés en améliorant l'uniformité, en allongeant la durée de vie des outils de gravure, en augmentant le débit et en améliorant le rendement. La technologie de pointe PLASMATHERM 790 utilise la gravure en écriture directe, une méthode qui utilise un faisceau focalisé pour graver jusqu'à 4 couches d'un matériau donné. Cette méthode permet d'obtenir une fidélité plus élevée que la pulvérisation, la gravure par faisceau d'ions et l'ablation laser. 790 est capable de graver et re-graver des matériaux avec une précision impressionnante de 2 microns de taille ou plus. Cela permet aux fabricants de créer des conceptions plus fines et des caractéristiques plus petites. L'unité dispose d'une alimentation RF de 10 W, qui permet de graver à des vitesses plus élevées, tout en assurant une contamination ionique minimale. De plus, les revêtements de protection PLASMATHERM 790 sont conçus pour maintenir des taux de progression constants dans chaque processus de gravure. Cela garantit l'uniformité et élimine la nécessité de régler fréquemment les paramètres de gravure. 790 dispose également d'options de nettoyage et de re-gravure in situ. Il s'agit d'un avantage significatif par rapport aux anciens procédés qui nécessitent un nettoyage manuel entre les étapes de gravure. Le nettoyage in situ et la re-gravure réduisent les problèmes de désalignement, améliorant le rendement. De plus, cette machine est capable d'améliorer la stabilité du procédé et de réduire la génération de particules de gravure, les fluctuations et le dépassement. PLASMATHERM 790 est conçu pour les produits médicaux, télécoms, automobiles et électroniques grand public. En tant que tel, l'outil est capable d'une opération semi-remplie pour le traitement des matériaux de base. En effet, 790 s'est avéré un atout fiable et convivial, avec son interface utilisateur graphique intuitive et sa base de connaissances complète permettant un fonctionnement facile. En outre, le modèle est entièrement automatisé, pratique et robuste, avec ses performances élevées et sa fonctionnalité conviviale assurant des résultats de gravure reproductibles et fiables dans la fabrication de composants délicats.
Il n'y a pas encore de critiques