Occasion PLASMATHERM 790 #9260193 à vendre en France

Fabricant
PLASMATHERM
Modèle
790
ID: 9260193
Style Vintage: 1993
PECVD System Operating system: Windows 3.1 RF Plasma ADVANCED ENERGY RF 5S Power supply Power output: 500 W at 13.56 MHz Max pressure: 900 mT Deposited materials: Amorphous Nanocrystalline Si deposition Si3N4 SiO2 films Gases: CF4 / O2 CH4 / 10 sccm He / 500 sccm N2O / 100 sccm B2H6 / 10 sccm PH3 / 10 sccm NH3 / 500 sccm SiH4 / 50 sccm H2 / 10000 sccm N2 Needle valve 1993 vintage.
PLASMATHERM 790 est un Etcher/Asher, en particulier une technologie qui utilise le plasma pour graver, nettoyer et activer sur une grande variété de matériaux, y compris les métaux, les semi-conducteurs et les polymères. L'unité dispose d'une variété d'options de gravure et d'ashing, y compris la gravure ionique réactive (RIE), un procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et un équipement de dégagement à sec. Le système est équipé de deux sources d'énergie RF de haute puissance, permettant des débits plus élevés et une flexibilité d'application par rapport aux autres systèmes de gravure. PLASMATHERM comprend des frappes de surface RF ainsi que plusieurs options de configuration, y compris auto-centre et auto-scan. L'unité comprend un couvercle de 6,4 pouces IDLF (Chamber Desiccator Lid), un poste de cuisson à pleine charge et une alimentation directe en voltex pour des besoins de gravure et de cueillette puissants. Le 6,4 "IDLF peut traiter jusqu'à 2,7 nm par seconde, avec une vitesse maximale de 30 nm par minute. PLASMATHERM est également livré avec une unité de contrôle et de contrôle de température intégrée. Le régulateur de température et le moniteur sont basés sur deux lectures, une pour chacune des deux alimentations utilisées. Ceci permet aux utilisateurs de réguler la température de la chambre à plasma afin d'optimiser les résultats de traitement. La 790 utilise un étage avancé motorisé ECOALD pour un contrôle précis du mouvement lors de processus à haut volume. Cette machine de commande de mouvement utilise un contrôleur interne pour surveiller le mouvement de l'étage, permettant une stabilité thanmécanique plus agressive. La construction en fibre de carbone et en acier de l'étage assure la stabilité lors du traitement agressif à haut volume. L'outil comprend également la surveillance et le contrôle de la température jusqu'à 1000 ° C PLASMATHERM 790 dispose d'une unité de contrôle intégrée et d'une unité de diagnostic intégrée. Cette fonctionnalité permet aux utilisateurs de tester leur processus et de faire des ajustements ou des problèmes de prise de vue au besoin. PLASMATHERM dispose également d'une variété de dispositifs de sécurité pour protéger les utilisateurs contre les dommages pendant le fonctionnement. Le modèle est conçu pour couper automatiquement l'alimentation en cas de fluctuations de gaz ou de tension, ainsi que pour protéger le personnel contre une augmentation accidentelle de la pression. L'équipement comprend également un nettoyant de fenêtre en quartz intégré, protégeant la porcelaine. 790 est un Etcher/Asher avancé et automatisé conçu pour les opérations à haut volume. Il est équipé d'une variété de fonctionnalités, y compris le contrôle de mouvement avancé, le contrôle de la température, et la protection contre le souffle. L'unité est capable de graver une variété de matériaux avec une grande précision et précision, permettant aux utilisateurs d'optimiser les processus pour des tâches spécifiques. Les fonctions de sécurité intégrées assurent également la sécurité des utilisateurs pendant le fonctionnement.
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