Occasion PLASMATHERM PECVD Heater #9124951 à vendre en France

PLASMATHERM PECVD Heater est un type de graveur/asher conçu pour le dépôt de couches minces de divers matériaux sur des substrats. Elle est utilisée dans des applications telles que la fabrication de cellules solaires, le traitement de transistors en couches minces et d'autres procédés de microélectronique. PECVD Heater est un graveur de plasmatron chimique à haute densité, à fréquence directe, chauffé RF, qui est conçu pour fournir un contrôle de processus économique et précis. Il dispose d'un procédé de dépôt parallèle multi-stations, permettant le dépôt précis d'une gamme de matériaux pour divers matériaux. PLASMATHERM PECVD Heater est équipé d'une tête de dépôt qui permet une grande flexibilité lors du dépôt des matériaux sur le substrat. La tête de dépôt est capable de manipuler une gamme de tailles et de formes de substrats, des panneaux plats aux formes irrégulières. PECVD Heater dispose également d'un équipement de distribution de gaz réactif intégré, permettant un contrôle précis de la vitesse de réaction et des milieux de réaction. Cela permet un contrôle fiable des processus dans les chimies complexes, telles que le dopage, la sélectivité et les structures 3D. PLASMATHERM PECVD Heater dispose également d'un certain nombre de paramètres de processus qui peuvent être ajustés pour optimiser le processus de dépôt. Ces paramètres comprennent la pression du réacteur, la tension du plasma, le niveau de puissance RF, la température de la source, la distance source-substrat et la puissance de la source. PECVD Heater a également été conçu avec la sécurité en tête, avec un système programmable de verrouillage électromagnétique, capable de fonctionner en CAE en cas de conditions dangereuses. PLASMATHERM PECVD Heater est une solution de gravure/dépôt programmable polyvalente et économique pour une variété de procédés de fabrication de couches minces et de microélectronique. Il est capable de fournir un contrôle précis et fiable des processus grâce à un certain nombre de paramètres de processus qui peuvent être ajustés, et une unité de distribution de gaz réactif intégrée. En outre, PECVD Heater est conçu avec la sécurité en tête, avec une machine de sécurité intégrée pour assurer le respect des règles de sécurité.