Occasion PLASMATHERM PK 24 #140728 à vendre en France
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ID: 140728
Plasma etch system
For implementing dry etching techniques
Dielectric & metals
Pumping system:
Corrosion resistant pump: 40 DFM
Oil filtration system
Chamber / Fixture:
26" Diameter x 5" high Al ring
Al substrate: 26" Diameter
RF Top electrode: 22" Diameter
Electrodes designed for temperature control
Spacing: 1/8" to 2"
Auto tuning
Matching network box
Cabinet
Pressure monitor & control:
Capacitance manometer
Digital readout
Throttle valve & controller
Missing pumps:
Mechanical pump
Pump (Turbo molecular / Diffusion)
Gas inputs:
(3) Process gases: Mass flow control
(2) Purge gases: Rotometer
Flowmeter ranges:
0 - 10 SCCM
0 - 100 SCCM
0 - 1000 SCCM
RF Power: 13.56 MHz, 3 kW
Documentation included.
PLASMATHERM PK 24 est un équipement de gravure/cueillette de précision conçu pour des applications tant en laboratoire qu'industrielles. Avec un plasma riche en oxygène, ce système est capable de réaliser des rainures, des évidements et des structures de surface sur des substrats tels que des métaux, des céramiques et des matériaux en verre. Le logiciel intégré fournit des paramètres faciles à utiliser pour la gravure et le cendrage. Les outils fournis comme les outils de fraisage, les forets et les outils de découpe laser sont très efficaces, offrant une longue durée de vie et une plus grande précision. De plus, le PK 24 permet un fonctionnement facile et convivial avec accès direct aux données, contrôle des paramètres, processus automatisés et intégration des machines. L'unité comprend des sources de plasma Dual-Vortex, une technologie brevetée unique avec une fonction de synchronisation d'un tour. La technologie avancée du réacteur Vortex permet une gravure et un cendrage uniformes des substrats, garantissant des produits de haute qualité avec des temps de cycle rapides. La soufflante intégrée permet de réduire le temps de gravure et de cendrage, offrant un plasma stable et constant pour une bonne consistance du produit. PLASMATHERM PK 24 offre également une gestion économique du gaz et des consommables à faible coût. Sa machine de surveillance du gaz permet une livraison automatique du gaz, assurant un fonctionnement sûr et fiable. Le conteneur d'alimentation est modulaire et ouvert pour permettre un changement facile des consommables et l'utilisation de différents gaz. PK 24 dispose d'une chambre de taille moyenne, avec une surface de travail de 245 x 245 mm, offrant une grande flexibilité pour une grande variété d'applications. Par rapport aux systèmes alternatifs de gravure et de cendrage, PLASMATHERM PK 24 dispose d'une grande surface de travail et de processus, ce qui le rend adapté aux substrats de plus grande taille. PK 24 est conçu pour la sécurité et la fiabilité. La chambre et d'autres composants sont conçus pour un environnement de travail propre et sans poussière, ainsi que pour la stabilité de la température et du gaz, fournissant des performances constantes dans les opérations industrielles. De plus, le couvercle supérieur de l'outil et les moyens de refroidissement liquide résolvent le problème de condensation à l'intérieur de la chambre. PLASMATHERM PK 24 est facile à utiliser et à entretenir, permettant aux opérateurs d'accéder à toutes les données et paramètres de contrôle nécessaires. Son panneau de contrôle et de diagnostic facile à lire est conçu pour une efficacité et une fiabilité maximales. En outre, tous les équipements de sécurité nécessaires et les dispositifs de sécurité, tels que les sondes et les capteurs, sont intégrés pour prévenir tout accident dans la zone de travail. En conséquence, le PK 24 offre une excellente sécurité et un environnement de travail sécurisé.
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