Occasion PLASMATHERM PK 2440 #293604307 à vendre en France
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ID: 293604307
Style Vintage: 1981
Dual plasma and Reactive Ion Etcher (PE / RIE)
1981 vintage.
PLASMATHERM PK 2440 est un équipement de gravure/ashing avancé développé par PLASMATHERM. Il s'agit d'une solution efficace et économique pour la gravure et le cendrage des films minces et des échantillons. Le système est conçu pour fournir précision et répétabilité pour la production et les applications de recherche. Le PK 2440 dispose d'une unité d'entraînement motorisée 3 axes pour contrôler l'étage et assurer un positionnement précis de l'échantillon. Ses moteurs pas à pas à grande vitesse permettent à la machine de réaliser des gravures et des cendres de haute précision sur des films et échantillons minces. De plus, le mécanisme automatisé de l'outil permet le positionnement dynamique des échantillons et le nettoyage des chambres. PLASMATHERM PK 2440 offre une large gamme de capacités de gravure et d'ashing. Il s'agit notamment de la gravure de couches minces, de l'ashing de couches minces et de la libération de couches minces du substrat. Il dispose également d'une option de nettoyage de chambre pour réduire les contaminants de chambre. L'actif fonctionne avec des graveurs à base de plasma et la chimie de la cendre, y compris O2, Ar, Cl2 et SF6. Le fonctionnement haut débit clé en main du modèle offre des résultats cohérents et reproductibles et le processus automatisé de nettoyage de la chambre d'échantillonnage réduit le besoin de nettoyage manuel. Il dispose également d'une grande chambre métallique de 20,2 cm x 30,5 cm avec une zone de chargement de 13 cm x 19 cm pour accueillir une large gamme d'échantillons. En outre, l'équipement dispose d'une interface conviviale pratique qui permet un fonctionnement efficace. Le système offre également des caractéristiques de sécurité avancées, y compris une vanne d'arrêt automatique du gaz, des limiteurs de surpression et un arrêt E pour protéger les opérateurs de tout danger. PK 2440 est une solution idéale pour les laboratoires de recherche et les sites de production qui nécessitent des capacités de gravure et de cueillette précises et répétables. Avec ses fonctionnalités avancées et son interface conviviale, l'unité fournit une solution efficace et rentable pour graver et aspirer des films minces et des échantillons.
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