Occasion PLASMATHERM SLR 720 / 720 #9124178 à vendre en France

PLASMATHERM SLR 720/720 est un graveur/asher haute performance conçu pour un large éventail d'applications nécessitant à la fois une gravure et un cendrage de haut débit et de haute précision. Cet équipement dispose d'un équipement intelligent de contrôle robotique auto-apprentissage qui ajuste en permanence les paramètres du processus pour optimiser les résultats pour une variété de substrats, de formes de substrats et de profondeurs de gravure. L'utilisation de SLR 720/720 rend les solutions de gravure et d'ashing plus faciles, plus rapides et plus précises que jamais. PLASMATHERM SLR 720/720 est basé sur un système robotique industriel et peut être configuré avec une gamme d'outils dédiés et multifonctionnels qui peuvent être montés sur le bras du robot. Cette unité offre un haut degré de personnalisation pour répondre à différentes applications et exigences de processus. Il est compatible avec une variété de logiciels spécifiques à la résolution et à l'application pour différentes solutions de gravure et d'ashing. Les processus de gravure et d'ashing, y compris l'optimisation de la recette, le contrôle des processus, ainsi que le chargement et le déchargement des substrats, sont gérés exclusivement par l'interface logicielle. SLR 720/720 dispose d'une machine de manutention avancée qui permet un chargement rapide et précis, le déchargement, ainsi que l'alignement des substrats. Les solutions les plus courantes sont les systèmes de serrure et de manutention péristaltique. L'outil robotique assure en outre un contrôle précis des outils de gravure et d'ashing et un réglage approprié des paramètres du procédé pour chaque substrat. PLASMATHERM SLR 720/720 supporte une large gamme de capacités et de variantes de processus. Cela comprend la technologie des chambres chauffées, les grappes à deux gaz, les trempes plasmatiques et le PECVD, ainsi que les technologies de gravure et d'ashing telles que RIE/ICP, triple fréquence, ALD, CVD et Sub-Micron Etcher. En outre, il soutient également l'ajout et l'élimination contrôlée de produits chimiques, ainsi que des recettes en ligne. SLR 720/720 est composé de trois parties essentielles. La première est l'armoire de commande, qui abrite tous les composants nécessaires au contrôle et au traitement robotique. La deuxième est la chambre de gravure et de cendrage, qui se compose d'une buse intégrée, de bride et de matériel de nettoyage. La dernière partie est le modèle de gravure et de cendrage, qui comprend tous les outils essentiels, tels que le scribe laser, les masques et le détecteur, ainsi que les boîtes à gaz. PLASMATHERM SLR 720/720 offre une combinaison unique de caractéristiques et de capacités pour la gravure et le cendrage, permettant aux utilisateurs de graver et de cendrer des substrats à la fois minces et épais avec une utilisation élevée des matériaux et l'efficacité du processus. Cet équipement est idéal pour les laboratoires et d'autres applications nécessitant des solutions de gravure et d'ashing haute performance.